СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГОУСТРОЙСТВА Советский патент 1967 года по МПК H05B33/10 

Известен снособ изготовления электролюминесцентных устройств путем вакуумного испарения исходных веществ и активирующих примесей с дальнейщей температурной обработкой в вакууме или на воздухе для диффузии. Напыление проводят послойно, чередуя исходное и активирующее вещество, или одновременно из разных лодочек.

Особенностью предложенного способа является то, что на подложку с проводящим слоем наносят легирующий высокоомный подслой сернистых соединений легирующих металлов, например сернистой меди, затем электролюминофор и поверх него - пленку с высокой диэлектрической прочностью, например моноокись кремния.

Это позволяет увеличить срок службы и повысить электрическую прочность устройства.

Предложенный способ осуществляют по следующей технологии.

В вакууме, близком к мм рт. ст. прогревают подложку с проводящим слоем при температуре 300-350°С в течение 1 час. Затем температуру снижают до 230°С и напыляют Сернистую медь из лодочкн, нагретой до 1300-1400°С. Толщина слоя должна быть

1200°С. Толщина пленки около 15-20 мк. Далее подложке дают остыть , и наносят слой моноокиси кремния толщиной 100-

200 А и металлический электрод.

Изготовленные по этой технологии образцы имеют интегральную яркость 30 нт при напряж&Еии 15-25 в плотность тока 16-20 , электрическую прочность в/см. Максимум спектральной интенсивности в случае использования электролюминофора ЭЛ-580

в области 5860 А .

Падение яркости в два раза происходит за час, если последовательно включено

балластное сопротивление 3-5 ком (из расчета на 1 сл/2). Сопротивление может быть нанесено в виде пленки на готовый электролюминесцеитный конденсатор. Питание осуществляется от источника постоянного тока или монополярными импульсами с положительной полярностью на металлическом электроде.

25Предмет изобретения

3 -4

сульфида цинка, активированного медью ис электронным типол проводимости (напримарганцем, отличающийся тем, что, с цельюмер, сернистую медь), затем наносят электувеличения срока службы и повышения элект-ролюминофор, поверх которого наносят пленрической прочности устройства, сначала в ка-ку с высокой диэлектрической прочностью (начестве легирующего подслоя наносят пленку5 пример, моноокись кремния).

197757