Известны интерферометры для контроля качества плоских оптических поверхностей по измерению искривлений полос равной толщины посредством двухлучевой интерференции, содержащие осветительную и наблюдательную системы.
Предлагаемый интерферометр отличается от известных тем, что между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, введена призма Дове, главное сечение и отражающая грань которой нараллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
Призма Дове установлена на направляющие, которые обеспечивают ее прямолинейное перемещение в двух взаимно перпендикулярных направлениях, параллельных плоскости контролируемой поверхности.
Направляющие снабжены отсчетным устройством для измерения величины перемещения.
Контроль качества поверхности производят по измерению стрелок искривления полос равной толщины, которые ориентируют таким образом, чтобы их направление совпало с направлением перемещения призмы Дове, перпендикулярным ее главному сечению.
мещением двух взаимно повернутых частей изображения полосы. Кроме того, точность наводки удваивается благодаря тому, что при перемещении призмы Дове в направлении плоскости ее главного сечения наблюдаемая через призму часть изобран ения полосы перемещается на величину, вдвое большую величины перемещения призмы.
Предлагаемый интерферометр позволяет измерять стрелки искривления полос равной толщины с точностью до 0,005 полосы в любой части проверяемой поверхности. Схема предлагаемого интерферометра нредставлена на чертеже.
Свет от источника / монохроматического излучения конденсором 2 проектируется в полость диафрагмы 3, которая располон ена в фокальной плоскости объектива 4. Параллельный пучок лучей, вышедщий из объектива, проходит через контролируемую 5 и эталонную 6 поверхности. Отраженные от этих поверхностей лучи интерферируют между собой, образуя полосы равной толщины, которые наблюдаются через окуляр, помещенный за диафрагмой 7, расположенной в фокальной плоскости объектива 4. Светоделительная пластина 8 направляет лучи в окуляр. Между объективом 4 и контролируемой поверхплоскость и отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива 4.
Предмет изобретения
Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и н а блюдательную системы, огличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную поверхность, введена призма Дове, главное сечение н отражающая грань которой параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
