КАССЕТА ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ЭЛЕКТРОДНЫХ СПЛАВОВ Советский патент 1967 года по МПК H01L21/68 

В известных кассетах для загрузки электродных навесок трафареты имеют сквозные отверстия круглого сечения.

Предлагаемая кассета позволяет загружать на активные «меза - области полупроводниковой пластины сначала эмиттерные, а затем, после их вплавления, базовые электроды. Для этого трафарет И1меет углубления, соответствующие конфигурации «меза - области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру загружаемого электрода.

На фиг. 1 изображена описываемая кассета, общий вид; на фиг. 2 - кассета в разрезе.

Пластина / из полупроводникового материала с предварительно выделенными в виде «меза активными областями коллектора и нанесенной пленкой глицерина, размещенная на подвижном вкладыще 2, удерживается на основании 3 кассеты нри помощи вакуума. На кассету устанавливается юстировочная рамка (на чертежах не показана) и под микроскопом путем перемещения вкладыща 2 «меза - области на пластине / совмещаются с их изображением на визирном стекле. Юстировочная рамка снимается, и на ее место ставится загрузочная рамка - с трафаретом 5. Трафарет изготовляется из молибдена

методом фотолитографии с последующим электролитическим травлением.

На трафарет насыпаются щары эмиттерного сплава, и кассета приводится в возврат)1о-поступательное движение в горизонтальной плоскости. При этом шары закатываются в отверстия трафарета и фиксируются глицерином на пластине. Загрузочная рамка снимается, и пластина передается на вплавление.

При последующей загрузке базовых электродов 6 все операции повторяются с той разницей, что пластина / устанавливается на вкладыще 2 с поворотом на 180° относительно первоначального положения. При этом вплавленные эмиттерные электроды 7 оказываются в углублениях на обратной стороне трафарета.

Предмет изобретения Кассета для загрузки электродных сплавов

в производстве внлавных диффузионных триодов, содержащая трафарет, отличающаяся тем, что, с целью загрузки на активные «меза - области полупроводниковой пластины сначала эмиттерных, а затем, после их вплавления, базовых электродов, ее трафарет содержит углубления, соответствующие конфигурации «меза - области, высотой не менее высоты вплавленного электрода, и сквозные отверстия на периферии, равные диаметру за

5 1 в

Ш1ж%шм

5 I I . . I .|: , .V .1. .