Способ производства сплавных диффузионных триодов Советский патент 1961 года по МПК H01L21/38 

Известные способы производства вплавных диффузионных триодов с использованием шаблонов основаны на ручном выполнении ряда трудоемких операций, основными из которых являются нанесение слоя сурьмы и эмиттерного сплава на пластины иолупроводникового кристалла, осуш.ествляемое путем надевания их на острие иглы i опускания в нужное место кристалла при беспрестанном наблюдении в л икроскоп. Кроме быстрой утомляемости оператора и невозмолчности нроизвести точное дозирование количества сурьмы и эмиттерного сплава, соединительный слой базы в переходах получается низкого качества.

Предлагаемый способ отличается тем, что создание соединительного слоя базы в переходах получается загрузкой мелкодисперсного порошка сурьмы в лунки или отверстия шаблона с дозированием количества сурьмы путем изменения размеров лунок или отверстий шаблона. Нанесенную сурьму выплавляют непосредственно из шаблона на пластину полупроводника с последуюгцей возгонкой вплавленной сурьмы. Это отличие позволило значительно упростить технологию производства триодов и механизировать ряд ручных операций.

На чертеже приведено разъемное приспособление, используемое для осуществления предлагаемого способа.

Предварительно протравленная и луженая с одной стороны пластинка / из полупроводникового материала (германия или кремния) закрепляется на базовой подкладке 2, выполненной, например, в виде кварцевого параллелепипеда. Крепление полупроводниковой пластины может производиться за счет ее припайки к двум никелевым штырькам 5. Затем подкладка вместе с пластиной вставляется в .молибденовую кассету 4. где фиксируется плоскими пружинами 5 и 6. Кассета имеет два штыря 7 для фиксации с-соответствующими отверстиями шаблона 8. Шаблон изготовляется из слюды или кварца и имеет сквозные отвер