СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОКОВЕДУЩИХ ДОРОЖЕК ТВЕРДЫХ И ГИБРИДНЫХ СХЕМ Советский патент 1968 года по МПК H05K3/06 

Известен способ изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем, который заключается в том, что подложку покрывают токопроводящим слоем, например, алюминия, наносят маску фотолитографическим методом, вытравливают пробельные участки и удаляют маску. Однако в процессе удаления маски происходит частичное разрушение дорожек.

Описываемый способ отличается тем, что для Повышения качества дорожек в качестве материала для изготовления масок используют ванадий.

После напыления на подложку слоя алюминия толшиной до 2 мк на него вакуумным напылением наносят слой ванадия толш,иной 0,2-0,3 мк. На ванадий наносят слой кислотостойкого светочувствительного материала на основе диазосоединений. Через фотошаблон производят засыпку ультрафиолетовыми лучами и после проявления получают на пробельных местах участки ванадиевого слоя, свободные от светочувствительного материала.

Ванадий с этих мест удаляют травлением в азотной кислоте, алюминий, находившийся под слоем удаленного ванадия - травлением в ш;елочи, причем одновременно разрушается и маска из светочувствительного материала. Ванадий, покрывающий токоведущие дорожки, удаляют растворением в азотной кислоте, и на поверхности подложки остаются только алюминиевые токоведуш,ие дорожки.

Предмет изобретения

Способ .изготовления токоведущих дорожек твердых и гибридных схем, основанный на покрытии подложки токопроводящим слоем, например, слоем алюминия, нанесении маски фотолитографическим способом, вытравливании пробельных участков и удалении маски, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества токоведуших алюминиевых дорожек, в качестве материала для изготовления маски используют ванадий, а для удаления маски применяют азотную кислоту.