ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ОТСТУПЛЕНИЙ УГЛОВ ОТ ЗАДАННЫХ Советский патент 1968 года по МПК G01B9/02 

Описание патента на изобретение SU215555A1

Известны устройства для измерения малых разностей углов призм (эталонной и исследуемой) по полосам равной толщины, образующимся в промежутке между поверхностями точных пластин специального интерферометра и поверхностями эталонной и исследуемой призм, помещенными одна над другой, каждая на своем столике. Известное устройство сложно и громоздко по конструкции, обладает большой трудоемкостью настройки прибора и самого процесса измерения.

Предложенный интерферометр конструктивно более прост, компактен, надежен, имеет малые габариты и отличается от известных тем, что в нем с помощью оптического контакта к рабочей поверхности эталонной пластины установлен оптический элемент, например призма, дополняющий контролируемый угол до 180°.

На фиг. 1 представлен описываемый интерферометр; на фиг. 2 - его эталонная пластина; на фиг. 3 и 4 - вид поля зрения интерферометра.

Интерферометр состоит из источника света 1, монохроматического светофильтра 2, конденсатора 3, точечной диафрагмы 4, светоделительной пластинки 5, объектива 6, эталонной пластины 7 с закрепленной на ней при помощи оптического контакта дополнительной призмы 8, контролируемой детали 9, плоского зеркала 10, выходной диафрагмы 11. Эталонная пластина имеет дополнительную призму 12 для контроля острого угла контролируемой детали 13.

В зависимости от величины измеряемого угла контролируемой детали подбирается соответствующий угол дополнительной призмы (8 или 12) интерферометра, который всегда должен дополнять измеряемый угол до 180°, т.е.

Отражающие грани дополнительной призмы покрыты каким-либо отражающим слоем.

Конструкция интерферометра обеспечивает быструю смену эталонных пластин 7 с закрепленными на них призмами 8 или 12. Известно, что направление интерференционных полос и их число зависит от расположения ребра воздушного клина и его величины. Поэтому при работе на приборе одну из граней контролируемого угла детали (9 и 13) выставляют строго параллельно какой-либо поверхности сравнения, например дополняющей призмы (8 и 12). При этом в правой части поля зрения интерферометра видна одна размытая интерференционная полоса, которая должна быть параллельна ребру дополнительной призмы.

В случае некоторого отступления измеряемого угла от заданного в левой части поля зрения интерферометра будет наблюдаться система интерференционных полос, число N которых зависит от λ, величины Θ воздушного клина и длины грани контролируемой детали

Если качество поверхностей контролируемой детали не очень хорошее, то в поле зрения может наблюдаться не система интерференционных полос, а система колец, которая юстировочными винтами столика прибора должна быть приведена в геометрический центр грани контролируемой детали (правая часть поля зрения). Тогда при наличии некоторого отступления в контролируемом угле в левой части поля зрения будет наблюдаться система интерференционных полос, форма которых будет несколько искажена.

В этом случае величина отступления Θ (величина воздушного клина) будет определяться простым подсчетом числа N полос на длине грани контролируемой детали

Похожие патенты SU215555A1

название год авторы номер документа
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКОЙ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ 1973
  • Ю. П. Контиевский, О. А. Клочкова, Ю. Г. Кожевников, А. Я. Пережогин Ю. В. Елисеев
SU380946A1
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ 1967
SU200227A1
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ 1970
SU269527A1
Устройство для контроля угловых параметров плоскопараллельных пластин 1981
  • Тареев Анатолий Михайлович
SU977947A1
Устройство для контроля погрешностей изготовления узлов оптических отражательных призм 1980
  • Тареев Анатолий Михайлович
SU998859A1
Бесконтактный интерферометр 1977
  • Маслов Валерий Владимирович
  • Новиков Николай Петрович
  • Кеткович Андрей Анатольевич
SU765648A1
Интерферометр для измерения перемещений 1980
  • Старков Алексей Логинович
SU934212A1
Интерферометр для контроля формы плоских полированных поверхностей 1974
  • Зубаков Вадим Гаврилович
  • Манукян Жорик Бегларович
SU518622A1
СПОСОБ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И СИСТЕМА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2000
  • Скворцов Ю.С.
  • Трегуб В.П.
RU2237865C2
Прибор для контроля углов призм 1977
  • Контиевский Юрий Петрович
  • Клочкова Ольга Алексеевна
  • Кожевников Юрий Георгиевич
  • Пережогин Африкан Яковлевич
SU693109A1

Иллюстрации к изобретению SU 215 555 A1

Формула изобретения SU 215 555 A1

Интерферометр для измерения малых отступлений углов от заданных, содержащий коллиматор, светоделительный элемент, объектив, эталонную пластину и оптическую систему для наблюдения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и процесса измерения, в нем установлен с помощью оптического контакта к рабочей поверхности эталонной пластины оптический элемент, например призма, дополняющий контролируемый угол до 180°.

SU 215 555 A1

Авторы

Коган Т.И.

Бегунов А.Н.

Зубаков В.Г.

Даты

1968-08-09Публикация

1967-06-12Подача