Известны устройства для измерения малых разностей углов призм (эталонной и исследуемой) по полосам равной толщины, образующимся в промежутке между поверхностями точных пластин специального интерферометра и поверхностями эталонной и исследуемой призм, помещенными одна над другой, каждая на своем столике. Известное устройство сложно и громоздко по конструкции, обладает большой трудоемкостью настройки прибора и самого процесса измерения.
Предложенный интерферометр конструктивно более прост, компактен, надежен, имеет малые габариты и отличается от известных тем, что в нем с помощью оптического контакта к рабочей поверхности эталонной пластины установлен оптический элемент, например призма, дополняющий контролируемый угол до 180°.
На фиг. 1 представлен описываемый интерферометр; на фиг. 2 - его эталонная пластина; на фиг. 3 и 4 - вид поля зрения интерферометра.
Интерферометр состоит из источника света 1, монохроматического светофильтра 2, конденсатора 3, точечной диафрагмы 4, светоделительной пластинки 5, объектива 6, эталонной пластины 7 с закрепленной на ней при помощи оптического контакта дополнительной призмы 8, контролируемой детали 9, плоского зеркала 10, выходной диафрагмы 11. Эталонная пластина имеет дополнительную призму 12 для контроля острого угла контролируемой детали 13.
В зависимости от величины измеряемого угла контролируемой детали подбирается соответствующий угол дополнительной призмы (8 или 12) интерферометра, который всегда должен дополнять измеряемый угол до 180°, т.е.
Отражающие грани дополнительной призмы покрыты каким-либо отражающим слоем.
Конструкция интерферометра обеспечивает быструю смену эталонных пластин 7 с закрепленными на них призмами 8 или 12. Известно, что направление интерференционных полос и их число зависит от расположения ребра воздушного клина и его величины. Поэтому при работе на приборе одну из граней контролируемого угла детали (9 и 13) выставляют строго параллельно какой-либо поверхности сравнения, например дополняющей призмы (8 и 12). При этом в правой части поля зрения интерферометра видна одна размытая интерференционная полоса, которая должна быть параллельна ребру дополнительной призмы.
В случае некоторого отступления измеряемого угла от заданного в левой части поля зрения интерферометра будет наблюдаться система интерференционных полос, число N которых зависит от λ, величины Θ воздушного клина и длины грани контролируемой детали
Если качество поверхностей контролируемой детали не очень хорошее, то в поле зрения может наблюдаться не система интерференционных полос, а система колец, которая юстировочными винтами столика прибора должна быть приведена в геометрический центр грани контролируемой детали (правая часть поля зрения). Тогда при наличии некоторого отступления в контролируемом угле в левой части поля зрения будет наблюдаться система интерференционных полос, форма которых будет несколько искажена.
В этом случае величина отступления Θ (величина воздушного клина) будет определяться простым подсчетом числа N полос на длине грани контролируемой детали
Интерферометр для измерения малых отступлений углов от заданных, содержащий коллиматор, светоделительный элемент, объектив, эталонную пластину и оптическую систему для наблюдения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и процесса измерения, в нем установлен с помощью оптического контакта к рабочей поверхности эталонной пластины оптический элемент, например призма, дополняющий контролируемый угол до 180°.
Авторы
Даты
1968-08-09—Публикация
1967-06-12—Подача