Известны способы измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления, заключающиеся в том, что регистрируют разность зависящих от длины волны света двух фотоэлектрических сигналов, пропорциональных пропусканию или отражению образца, на который наносится пленка, и по разности сигналов, обусловленных различными длинами волн, судят о толщине пленки. Однако эти способы не применимы, когда покрытие имеет спектральную характеристику, близкую к П-образной. Кроме того, для их реализации требуются довольно сложные оптико-механические системы.
Для повышения точности измерения согласно предлагаемому способу сигнал, соответствующий заданной длине волны, подают на запоминающее устройство. Затем через определенный интервал времени на запоминающее устройство подают сигнал, соответствующий той же длине волны, после чего определяют разность сигналов.
Предлагаемый способ заключается в следующем.
Сигнал, вызываемый на фотоэлектрическом приемнике монохроматическим световым потоком, прошедшим через образец, на который наносится покрытие, или отраженный от этого образца, в два момента времени подают на запоминающее устройство.
Затем оба сигнала, сохраненные в запоминающем устройстве, попадают в блок сравнения. На выходе блока сравнения установлен регистрирующий прибор, показания которого пропорциональны разности сигналов. Таким образом, регистрирующий прибор показывает, как изменяется за определенный интервал времени в процессе нанесения покрытия коэффициент пропускания (отражения) образца при заданной длине волны.
Систему настраивают таким образом, что за время нанесения одного слоя, обладающего оптической толщиной 
, цикл измерения повторяется многократно. Когда оптическая толщина слоя становится равной 
и, следовательно, коэффициент пропускания (отражения) достигает экстремума, показание регистрирующего прибора равно нулю.
Способ применим с монохроматорами любого типа во всех областях спектра и со всевозможными фотоэлектрическими приемниками лучистой энергии.
Способ измерения толщины тонких пленок в процессе их изготовления, заключающийся в том, что регистрируют разность зависящих от длины волны света двух фотоэлектрических сигналов, пропорциональных пропусканию или отражению образца, на который наносится пленка, и по разности сигналов судят о толщине пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, сигнал, соответствующий заданной длине волны, подают на запоминающее устройство, затем через определенный интервал времени на запоминающее устройство подают сигнал, соответствующий той же длине волны, после чего определяют разность этих сигналов.
