Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру с расположенными внутри нее испарителем и полым сферическим катодом.
Предложенное устройство отличается от известного тем, что полый сферический катод снабжен электрически связанными с ним направляющими штангами. Это обеспечивает равномерное нокрытие на изделиях сложной конфигурации.
На чертеже изображено описываемое устройство.
Оно состоит из вакуумной камеры , испарителя 2, катода 3 и направляющих щтанг 4. Вакуумная камера электрически связана с плюсом высоковольтного выпрямителя и является анодом.
Обрабатываемые детали 5 закрепляют на направляющих щтангах 4, и в испаритель загружают испаряемый материал 6. После этого камеру закрывают и вакуумируют. Получив необходимое разрежение, приступают к нанесению покрытия. От высоковольтного выпрямителя на катод и анод подают разгоняющее напря/кение до 3 кв. Через вентиль 7 в вакуумную камеру поступает балластный газ для повыщения давления до появления свечения в полости катода. Одновременно с этим в цепи источника питания появляется анодный ток. Электрическое поле заставляет ионы балластного газа двигаться не только по направлению к катоду, но и по направлению пространства, ограниченного направляющими щтангами 4. После включения испарителя пары материала покрытия, находящиеся в зоне, прилегающей к катоду и пространству, ограниченному направляющими щтангамн 4, ионизируются и бомбардируют поверхность изделия. Ионы, не попавшие на изделия благодаря отсутствпю положительного пространственного заряда, свободпо проннзывают зону, ограниченную направляющими щтангами, и бомбардируют изделия, размещенные с противоположной стороны.
Предмет нзобретения
Устройство для нанесеипя покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, нспаритель и полый сферический катод, отличающееся тем, что, с целью получения равномерного покрытия на изделиях сложной конфигурации, полый сферический катод снабжен электрически связаннымн с ним направляющими щтангами.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ДИФФУЗИОННЫХ ПОКРЫТИЙ | 2015 |
|
RU2599587C1 |
| Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником | 2020 |
|
RU2752334C1 |
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2063472C1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ЗАЩИТНО-ДЕКОРАТИВНЫХ И ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ | 1992 |
|
RU2023742C1 |
| Способ нанесения защитных покрытий и устройство для его осуществления | 2016 |
|
RU2625698C1 |
| Устройство для нанесения покрытий в вакууме | 1969 |
|
SU300079A1 |
| УСТАНОВКА ДЛЯ КОМБИНИРОВАННОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ | 2009 |
|
RU2425173C2 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ | 1998 |
|
RU2146724C1 |
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННО-ДУГОВОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ | 1997 |
|
RU2109083C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ | 1993 |
|
RU2074903C1 |
