ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1969 года по МПК F04F9/04 

Известны вакуу/мные установки, например, для откачки эле;ктровакуумных приборов, содержащие подключенные к откачиваемому прибору с вакуумной головкой натекатель, иаромасляный диффузионный и механический насосы, ла линии связи между которыми установлен .вентиль, иапример с тарельчатым клапаном.

Предлагаемая конструкция клапана иозволяет предотвратить прокачку воздуха через диффузионный насос при натекании прибора и, следовательно, исключить окисление масла. Это достигается тем, что в корпусе веитиля со стороны, противоположиой седлу кла.иаиа, размещен сильфон. Внутренняя полость сильфона сообщена с атмосферой, а наружная - с линией связи натекателя и головки с тем, чтобы в процессе натекания при выравиивании давления в обеих полостях сильфоиа клапан отсекал диффузнонный насос от области повышенного да1вления. Кроме того, вентиль снабжен конечным выключателем, срабатывающим при закрытии клапана на отключение подогревателя диффузионного насоса, а седло клаиана выиолнено с кольцевой щелью.

На чертеже изображеиа описывае,мая установка IB разрезе.

натекатель 3, паро-масляный диффузионный насос 4 и механический насос 5 с масляным уплотнением. На линии связн между насоса1МИ установлен вентиль 6 с тарельчатым клапаном 7. В корпусе вентиля со стороны, противоположной се.длу 8 клапана, размещен снльфон 5, в утренняя полость А которого сообщена с атмосферой, а наружная Б с .тинией связи иатекателя и головки. Седло клапана имеет кольцевую щель 10.

Перед началом работы клапан закрыт, гак как давления в пологтях А и Б сильфона равны атмосферному, и нод действием нружциы // цилиидр 12 и шток 13 клапана находятся в крайнем правом положении. После установки ирибора начинает работать механический насос для откачки воздуха из вакуумной головкп. Давление в полости Б уменьшается, п сильфон, пересиливая пружину, под действнем атмосферного давления в полости А распрямляется, открывая клалан.

Так как прохождение воздуха замедляется кольцевой щелью, что способствует уме 1ЬИ1еиию выплеска масла 3 диффузионного насоса, клапан открывается постепенно. При полном открытии клапана прибор откачивается через диффузионный насос. После окончания вакуумирования осуществляют иатекапие воздуха в головку и полость Б клапана. Давление в полостях Б и А выравнивается, и пружи.на 11 закрывает клалан. Што« перемещается в крайнее положение и, воздействуя на конечный выключатель 14, отключает подогреватель диффузионного насоса, предотвращая окисление в нем масла. В описанной установке масло не о.кисляется и при натсканиях, связаиных с негерметичностью системы или взрывом приборов.

Предмет изобретения

1. Вакуумлая установка, , для огкачки электровакуум.ных прибо1ров, содержащая подключенные к откачиваемому прибору с вакуумной головкой натекатель, паромасляный диффузионный и механический насосы, на линии связи между которыми установлен вентиль с тарельчатым клапанОМ, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения окисления масла в диффузионном насосе, в корпусе вентиля со стороны, противоположной седлу клапана, размещен сильфон, внутренняя полость которого сообщена с атмосферой, а наружная - с линией связи натекателя и головки с тем, чтобы в процессе натекания лри выравнивании давления s, обеих полостях сильфона, клапан отсекал диффузионный насое от области повышенного давления.

2,Установка но п. 1, отличающаяся тем, что вентиль снабжен конечным выключателем, срабатывающим при закрытии клапана на огключение подогревателя диффузионного наcoca.

3.Установка по п. 1, отличающаяся тем, что седло клапана выполнено с кольцевой щелью.