СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ВНУТРЕННЕГО ЛЮНГАЖА ПОЛУПРОЗОДНИКОВЬГХ ПРИБОРОВ Советский патент 1969 года по МПК G01N29/12 G01R31/26 

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых при-боро-в.

В отдельных типах высо кочастотных полуправодн.нковых приборов (П416, П308, П311 и т. п.) в качестве виутренних выводов, соединяющих полушроводнкковый кристалл с в-нешними выводами прибора, используется тонкий золотой волосок длипой 2-3 мм и диаметром порядка 10-20 ммк.

В процессе производства всегда имеет место разброс поля допусков виутренних выводов по их длине, диалштру и механическим свойствам применяемого для изготовления ;волосков материала, что приводит к разбросу приборов по основньим электрическим .параметрам и механической np04iHOiCTH отдельных элементов конструкции.

Известные способы ко«троля качества изготовления элементов внутреннего монтал а полупроводниковых приборов путем механических иапытаний на виб(ропрочность, ви&роустойчивость, ударную прочаость и т. д. в диапазоне низких частот (5-2000 гц) не позволяют обнаружить оверхдопустимые отклонения элементов конструкции от конструкто, документации, которые обнаруж1иваются впоследствии в процессе зкаплуатации.

ществлять сплошно ко.нтроль всех вылускаемых приборов. В связи с этим в настоящее время испытания ограничиваются выборочным конгроле.м приборов ,и результаты испытаний контрольной группы распространяют на всю партию, что не исключает возможности сдачи в эксплуатацию приборов, изготовленных на предельных допусках или со сверхдопустимыми отклонениями. Данные скрытые дефекты обнаруживаются только в процессе эксплуатации приборов.

Цель настоящего изобретенИя-разработка метода испытаний полупроводниковых приборов, который обеспечивал бы выявление приборов, имеющих сверхдопусти.мые по конструкторской документации отклонения элементов конструкции внутрениего монтажа (внутренних выводов). Достигается она тем, что все полупроводниковые приборы подвергают воздействию ультразвуковых колебаний в жа)дкой среде, не оказывающей агрессквиого воздействия на покрытие ,и элементы конструкции.

В результате )воздействия на прибор знакопеременных давлений, возникающих в сидкой среде ири распространении ультразвуковых колебаний, происходят колебано1я .прибора в целом и отдельных элементов его конструкции.

длины, и материала вывода, 01пределяется по формуле собственной частоты «енатянутой струны.

/ . 4/, I/ т

где Е (0,72 0,82) Юс кг/слг- - модуль

Юига для золота;

g 981 cMjceK - ускорение земного тяготения;

Y 19,3 Юз кг/сМ - удельный вес золота;

D - диаметр вывода, см; /--длина вывода, см.

Она находится в диапазоне у;1ьтразвуковых колебаний. В связи с этим всегда можно яодобрать такие частоты колебаний ультразвукового генератора, .которые будут равны собственной частоте колебаний внутре1НН1Их выводов, изготовленных на сверхдонустимых .или предельных допусках.

При совпадении частоты собственных колеба1н:ий внутренних выводов приборов с частотой вынужденных ультразвуковых ;колебан 1й

возникает резонаис, .разрушающий выводы, изготовленные на предельных допусках или имеющие отклонения, но геометрии и физ1гко-механическим свойствам превышающие доиустимые.

Указанные разрущенкя легко определяются при про;вер«е приборов на функиионирование в проиессе воздейстши; ультразвуковых колебаний либо ири последующей проверке их парадметров. Это обеспечивает отбраковку пр.иборов, являющихся нотенциально иенадежйым и.

П р е д .м е т и з о б р е т е и и я

Способ контроля качества Изготовления эле.чеитов внутреннего монтажа иолупр01водниковых приборов, отличающийся тем, что, с целью выявления некачественно выполненных выводов нриборов, ириб;;:ы подвергают воздейств.ию колебаний в диапазоне ультразвуковых частот с амплитудами, достаточными для разрущения выводов в результате резонанса, вызванного совиадением собственных частот колебаний выводов с частотой вььиужденных ультразвуковых колебаний.