СПОСОБ ЗАЩИТЫ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК Советский патент 1969 года по МПК G02B5/18 

Способы защиты оптических деталей путем получения защитной пленки, нанесенной на слой алюминия, известны. Особенностью предложенного способа является то, что слой алюминия наносят на подслой титана и после нарезки штрихов решетку оксидируют в электролите, например в 0,5%ном растворе двухзамещенного фосфорнокислого аммония. Это обеспечивает равномерное нанесение защитного слоя и повышение его прочности. Для «анесения подслоя на поверхность решетки испаряют титан в двух вольфрамовых лодочках размером 50X10X0,05 мм, вставленных одна в другую. Загруженные титаном лодочки прокаливают (При вакууме не .менее 5, мм рт. ст. С началом испарения титана вакуум улучшается, так как титан поглощает остаточные газы. Поддерживают испарение титана при напряжении 36 в и токе 120 а. Требуемая толщина подслоя титана порядка 1000-2000А. Нанесение подслоя контролируют путем регистрации количества испарившегося вещества и фотоэлектрическим методо.м - пропусканием света через подложку (решетку). после нанесения слоя алюмин1 я нарезают штрих и решетку подвергают оксидированию в электролите, например в 0,5%-ном растворе двухзамещепного фосфорнокислого аммония. Процесс оксидирования проводят с соблюден1 ем требований, предусмотренных руководством для алюминирования зеркал. Рабочее напрялчение при оксидирован 1и изменяют с целью получения защитного слоя разной толщины. Например, для образования слоя двуокиси алюминия 0,2 мк напряжение в цепи установки должно быть порядка 120 в. Полученные слои двуокиси алюминия на дифракционных решетках со слое.м алюминия толщиной от 0,5 до 5 ..i достаточно прочны и устойчивы к чистке поверхности решеток. Предмет изобретения Способ защиты дифракционных решеток путем получения защитной пленки, нанесенной на слой алюминия, отличающийся тем, что с целью равномерности нанесения и повышения прочности, слой алюминия наносят на подслой титана и после нарезки штрихов решетку оксидируют в электролите, например в 0,5%-ном растворе двухзамещенного фосфорнокислого аммония.