Способ изготовления дифракционных решеток Советский патент 1977 года по МПК G02B5/18 

например алюминия, что и последующий слои металла алюминия, в котором формируют штрихи решеток. При этом в поверхностном слое стекла подложки образуется слой металла, настолько прочно связанный с подложкой, что его можно удалить с подложки только повторной шлифовкой и полировкой поверхностного слоя стеклянной подложки.

Затем на поверхность стеклянной подложки напосят термическим испарением в вакууме слой металла (алюминия) толш,иной, необходимой для нанесения штрихов дифракционной решетки.

В слое алюминия формируют штрихи решетки с помоп1,ью прецизионных алмазных резцов на специальных делительных машинах путем пластической деформации в случае большого числа штрихов на 1 мм и вырезанием с пластической деформацией в случае малого числа штрихов на 1 мм.

Пример. Проводили изготовлеиие дифракционных решеток на слоях алюминия. Слои алюминия толщиной порядка 1 мкм наносили на иолированную подложку из стекла, в поверхностном слое (глубина 100,0 нм) которой бомбардировкой быстрыми иопами алюминия (100 кэВ) был внедрен алюминий на ионном ускорителе ИЛУ-3.

В результате получились монолитные слои алюминия, прочно соединенные со стеклянной подложкой. Не наблюдалось отделения слоя алюминия от стеклянной подложки в процессе формирования в нем штрихов решеток. Таким образом, изготовленная решетка была защищена оксидной пленкой путем оксидирования

решетки известным спосооом в электролите, например 0,5% раствора двухзамещенного фосфорно-кислого аммония. В результате на поверхности решетки была получена прочная (О-1 группа прочности) оксидная пленка, которая допускала многократную чистку поверхности решетки ватой со спиртом, ультразвуковую чистку поверхности решетки в жестком режиме, а также многократное полирование. При этом не наблюдалось отслаивание слоя алюминия от поверхности стеклянной подложки и ухудшение внешнего вида решеток.

Формула изобретения

Способ изготовления дифракционных решеток путем нанесения на полированную подложку из стекла слоя металла термическим испарением в вакууме и последуюшего формирования штрихов в слое металла, отличающийся тем, что, с целью увеличения прочности сцепления слоя металла со стеклянной иодложкой, поверхностный слой подложки перед термическим испарением на нее металла бомбардируют ионами того же металла с энергией, превышаюшей 1 кэВ.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Журнал «Оптико-механическая промышленность № 3, 1957, с. 47.

2.Журнал «Оптико-механическая промышленность № 4, 1957, с. 56, 195.

3.Авторское свидетельство № 239745, кл. G 02В 5/18, 1969 (прототип).