ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС Советский патент 1969 года по МПК F04D19/04 

Известны вакуумлые . молекулярные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие .решетки с лопатками, образующими асимметричные каналы.

Цель изобретения - повышение быстроты откачки.

Это достигается тем, что рабочие решетки соединены одна с другой при помощи жестких перемычек и подключены ж приводу возвратно-поступательного перемещения для обеспечения колебания решетОК в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки при циклическом изменении скорости.

В зазорах между периферийными лопатками рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуумплотные перегородки.

Рабочие решет1ки соединены с корпусом при помощи гибких овязей.

Направляющие решетки насоса жестко соединены между собою и подключены к автономному приводу возвратно-поступательного перемещения с тем, чтобы обеспечить их колебания в том же направлении, что и рабочих рещеток, но со сдвигом по фазе.

На чертеже схематично изображен описываемый насос, продольный разрез.

лопатками, образующими асимметричные кйналы. Лопатки 3 жестко соединены перемычками 4 и подключены к приводу возвратнопоступательного перемещения для колебания

решеток в направлении стрелок 5 в плоскостях, перпендикулярных направлению откачки (стрелка 6) при циклическом изменении скорости. Для прохода перемычек через лопатки 2 в лопатках предусмотрены отверстия

7. С целью уменьшения перетекания газа в зазорах между периферийными лопатками 3 рабочих решеток и стенками корпуса установлены вакуумплотные перегородки 8. Рабочие решетки могут быть соединены с корпусом

при помощи гибких связей 9.

Насос работает следующим образом. При колебании рабочих решеток в направлении, перпендикулярном направлению откачки, сопротивление асимметричных сужающихся каналов изменяется таким образом, что оно -становится неодинаковым для встречных потоков молекул откачиваемого газа. Следовательно, различаются прямые и обратные сопротивления, причем разность между

ними до некоторого предела тем больше, чем выше скорость движения каналов. Следствием двоякого сопротивления тепловому движению молекул является установление массового потока газа через жанал в направлении