Вакуумный молекулярный насос Советский патент 1980 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям вакуумных молекулярных насосов. 5

Известен молекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими межлопа- Ю точные каналы, причем рабочие решетки подключены к приводу возвратнопоступательного перемещения l .

Недостатком насоса является асимметричная форма межлопаточных кана- j лов, вследствие чего за рабочим ходом следует холостой ход, при котором возникает обратньай поток, снижающий степень сжатия насоса.

Целью изобретения является устране20 ние холостых ходов рабочих решеток и повышение степени сжатия.

Указанная цель достигается тем, что каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительно плос- 25 кости,проходящей через его середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток. Поверхности лопаток выполнены плоскими, криволинейными или зубчатыми.ЗО

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем параллельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие рьшетки 2 и 3 с лопатками 4 и 5, образующими межлопаточные каналы 6 и 7, причем рабочие решетки 3 подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения . Каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительно плоскости, проходящей через его середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток. Поверхности лопаток 4 и 5 могут быть выполнены криволинейными или зубчатыми. На чертеже показано выполнение лопаток 4 и 5 плоскими.

Насос работает следующим образом.

Лопатки 5 рабочих решеток 3, движущихся возвратно-поступательно, передают молекулам откачиваемого газа импульс в направлении откачки, выполнение межлопаточных кангшов 6 и 7 симметричными относительно плоскости, проходящей через их середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток 3, исключает холостые

ходы рабочих решеток, тем самым увеличивая вдвое число рабочих ходов.

Поскольку прямой и обратный ходы рабочих решеток являются рабочими, то обратный поток газа практически отсутствует, что приводит к повышению степени сжатия.

Формула .изобретения 1. Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем паргшлельными рядами чередующиеся направляющие и рабочие решетки с лопатками, образующими межлопаточные каналы, причем рабочие решетки подключены к приводу возвратно-поступательного перемещения, отличающийся тем, что, с целью устранения холостых ходов рабочих решеток и повышения степени сжатия, каждый межлопаточный канал выполнен симметричным относительно плоскости, проходящей через его середину перпендикулярно направлению перемещения рабочих решеток.

2.Насос по п. 1, отлича ющ и и с я тем, что поверхности лопаток выполнены криволинейными.

3.Насос по п. 1, отличающийся тем, что поверхности лопаток выполнены зубчатыми.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 5 252544, кл. Р 04 D 19/04, 1968.

Направление

откачки