РАДИАЦИОННЫЙ ПИРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ Советский патент 1970 года по МПК G01J5/08 

Изобретение относится к области контроля и регулирования температуры в процессах кристаллизации полупроводниковых, оптических и других монокристаллов, в частности к устройствам для контроля температуры.

Известны радиационные пирометры, используемые для измерения температуры, например в печах для выращивания монокристаллов, содержащие светопровод, установленный в рабочей зоне печи, и приемник излучения.

К недостаткам известных пирометров относится нестабильность термо-з.д.с., вызываемая тем, -что на поверхности светопровода появляется налет из-за повышенной загазованности среды, окружающей светопровод при измерении температуры.

Цель изобретения - создание устройства, обеспечивающего защиту светопровода от действия окружающей среды, повышающего стабильностьИ надежность измерений.

В предлагаемом пирометре светопровод помещен коаксиально с зазором в кварцевую трубку, с торцом которой герметично .соединено окно из оптически прозрачного кварца.

На чертеже дана .схема радиационного пирометра для контроля температуры в печах выращивания монокристаллов.

тически прозрачного кварца, герметично соединенное с кварцевой трубкой 5, с помещенным в нее светопроводом 6 (например, сапфировым) с зазором, шток 7, в который с помощью сальника 8 герметично введена кварцевая трубка, и приемник 9 излучения (например, термобатарея). Устройство работает следующим образом. Защищенный светопровод пирометра вводится в рабочую зону печи таким образом, что оптически прозрачное кварцевое окно размещается там, где отсутствует загазованность (в зоне температуры ниже 1150°С). Таким образом, излучение дна тигля или

другой выбранной нагретой поверхности печи проходит через окно вдоль светопровода и попадает на приемник 9, где преобразуется термо-з.д.с., используемая для контроля и регулирования температура печи.

Благодаря кварцевой трубке боковая поверхность светопровода изолирована от окружающей среды с повышенной загазованностью и не покрывается налетами. В результате отсутствует искажение пропускания светопроводом измеряемого излучения, что повышает стабильность измерений.

Оптически прозрачный кварц, применяемый для защитного окна, допускает длительное применение его при температуре 1150°С с соПредмет изобретения

Радиационный пирометр для контроля температуры в печах выращивания монокристаллов, содержащий .светопровод, установленный в рабочей зоне печи, и лриемник излучения,

отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности и надежности измерений, светопровод помещен коаксиально с зазором в кварцевую трубку, с торцом которой герметично -соединено окно из оптически прозрачного кварца.