Проекционный координатограф Советский патент 1981 года по МПК H05K3/00 

1

Изобретение относится к технологии производства печатных плат и мик-ропленочных электронных схем, а именно к устройству проекционного координатографа , служащего для изготовления фотошаблонов.

Известно устройство, содержащее координатный стол с фиксатором для крепления светочувствительного ма-териала и оптическую систему, снабг женную осветителем, конденсатором, объективом и регулируемым коллиматором, выполненным в виде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом D.

Однако известное устройство обладает узкими функциональными войможностями.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей.

Поставленная цель достигается TeMj что проекционный координатограф.

содержащий координатный стол с фиксатором для крепления светочувствительного материала и оптический узел с осветителем, конденсором, объективом и коллиматором, выполненным в виде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом, снабжен дополнительными шторками с электромагнитами и подвижными упорами, кинематически соединенными с микрометрическим винтом одной из двух пар ортогонально установленных шторок, а дополнительные шторки выполнены с прямоугольными вырезами в зоне формирования элемента топологии и установлены параллельно одной из двух пар ортогонально установленных шторок с возможностью взаимодействия с подвижными упорами, причем отношение между величинами перемещений подвижных упоров и одной из двух пар ортогонально установленных шторок равноф. На фиг. 1 изображен проекционный координатограф, общий вид; на фиг.2 элемент топологии в виде восьмиугольника, образованного шторками. Проекционный координатограф содержит координатный стол 1 с установленным на нем светочувствительным материалом 2, оптическую систему, сна женную осветителем 3, конденсатором 4 объективом 5 и автоматически регулируемым коллиматором, состоящим из што ки 6, закрепленной на каретке 7, штор 8, закрепленной на каретке 3 шторок 10 и 11, закрепленных, соответственно на каретках 12 и 13 и расположенных ортогонально шторкам 6 и 8. Шторки б и 8 расположены в одной плос кости. Шторки 10 и 11 также расположе ны в одной плоскости с небольшим зазо ром относительно шторок б и 8, Кроме того, с небольшим зазором относительно шторок 10 и 11 на каретке It закреплена шторка 15, имеющая впадину в виде прямого угла. Аналогичадая ей шторка 16 закреплена на каретке Г/ с небольшим зазором относительно штор ки 15. Каретки 7 и 9 вместе со шторками 6 и В перемещаются в направля-ющих 18, а каретки 12 и 13 вместе со шторками 10 и 11 перемещаются в напра ляющих 19-21. В этих же направляющих вместе со шторками 15 и 16 перемещаются каретки 1 и 17, соединенные с .электромагнитами 22 и 23 соответствен но и с возвратными пружинами 24 и 25 Каретки 7 и 9 соединены с микрометрическим винтом 26, причем каретка 7 соединена с его частью, имеющей пра вую нарезку, а каретка 9 - с мастью, имеющей левую нарезку. Винт 26, в свою очередь, соединен с электродвигателем 27 Каретки 12 и 13 соединены с микрометрическим винтом 28 и через зубчатую передачу 29 связаны с электродвигателем 30 и микрометрическим винтом 31. Микрометрические винты 28 и 31 такм(е имеют участки с правой и левой нарезками. Каретка 12 соединена с частью винта 28, имеющей правую нарезку, а каретка 13 соединена с частью имеющей левую нарезку. Винт 31 своей частью с правой нарезкой соединен с к-ареткой 32, на кotopoй неподвижно закреплен упор 33, ограничивающий движение каретки 17, а частью с левой нарезкой он соединен 04 с кареткой 3 на которой неподвижно закреплен упор 35, ограничивающий движение каретки И. Кинематическая цепь, состоящая из микрометрического винта 28, зубчатой передачи 29 и микрометрического винта 31, обеспечивает величины перемещений кареток 32 и 3 с упорами 33 и 35 при вращении электродвигателя 30 в /Т раз больше, чем величины перемещений кареток 12 и 13 со шторками 10 и 11. Причем направление движения каретки 32 совпадает с направлением движения каретки 12, а направление движения каретки 3( с направлением движения каретки 13Проекционный координатограф работает следующим образом. При включении осветителя 3 в плоскости светочувствительного материала проецируется световая фигура, образованная шторками б, 8, 10, 11, 15 и 1б. В случае необходимости проецирования прямоугольных элементов топологии автоматическая система управления проекционного координатографа I подает сигнал на включение электромагнитов 22 и 23. При этом каретки k и 17 вместе с закрепленными на них шторками 15 и 16 перемещаются в направляющих 19-21 в разные стороны от оптической оси 36 координатографа за пределы максимально возможного разведения от оптической оси шторок 6,8, 10 и 11. В этом режиме шторки 6, 8, 10 и 11 образующие прямоугольник, движутся по программе от электродвигателей 27 и 30, а Шторки 15 и 16 в формировании фигуры элемента топологии не участвуют. В случае необходимости проецирования элементов топологии в виде штрихов, расположенных под углом 45° к любому из краев фотошаблонов, система управления отключает электрома - ниты 22 и 23, после этого пружины 24 и 25 пpи имaют каретки 14 и 17 к упорам 33 и 35, а с помощью двигателей 27 и 30 автоматически формируется шторками 6, 8,10 и 11 элемент топологии в виде квадрата со стороной 2а. Так как величины перемещений кареток 32 и 34 с упорами 33 и 35 превыша1дт величины перемещений кареток 12 и 13 со шторками 10 и 11 в V раЗ; то расстояния между каждым из упоров 33 и 35 и оптической осью 36 при отходе каждой из шторок 10 и 11 на величину d увеличивается на величину

Таким образом, при любой величине О. шторки 15 и 16 занимают такое положение, при котором вершины 37 и 38 впадин (фиг.2) в виде прямых углов этих шторок находятся на расстоянии О. /Т от оптической оси Зб, т.е. вершины 37 и 38 находятся на окружности в которую вписан квадрат со стороной 2ct.

В результате шторки 6, 8, 10, 11, 15 и 1б образуют правильный восьмиугольник, который образует в плоскости светочувствительного материала световую фигуру, позволяющую формировать края элементов топологии, расположенных под углом S к любому из краев фотошаблона, с помощью прямолинейных участков, которыми являются стороны восьмиугольника.

Предлагаемый проекционный координатограф позволяет формировать элементы топологии, расположенные под углом Ц к любому из краев фотошаблона, не только с помощью правильного восьмиугольника в качестве световой .фигуры, но и с помощью неправильного шестиугольника, который образуется, если шторки 6 и 8 не участвуют в формировании световой фигуры, В этом случае длина прямолинейного yMactKa световой фигуры, формирующего Край элемента топологии, больше, чем при использовании восьмиугольника Это дает дополнительную возможность улучшения качества краев элементов .топологии.

Формула изобретения

Проекционный координатограф, содержащий координатный стол с фиксатором, для крепления cвeтoчyвcтвиteльнoгo материала и оптический узел с осветителем, конденсором, объективом и коллиматором, выполненным в виде соединенных с микрометрическими винтами двух пар ортогонально установленных шторок, размещенных между конденсором и объективом, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей,

он снабжен дополнительными шторками с электромагнитами и подвижными упорами, кинематически соединенными с микрометрическим винтом одной из двух пар ортогонально установленных шторок, а дoпoлнитeJЭ4.ныe шторки аыполнены с прямоугольными вырезами в зоне формирования элемента топологии и установлены параллельно одной из двух пар ортогонально установленных што/рок с возможностью взаимодействия с подвижными упорами, причем отношение между величинами перемещений подвижных упоров и одной из двух пар ортогонально установленных шторок

равно V.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № , кл. Н 05 К 3/00, 1962.