СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ СТЕНОК И ВНУТРЕННЕЙ АРМАТУРЫ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ КАМЕР Советский патент 1970 года по МПК H01J9/39 

Изобретение предназначено для ускорения обезгаживания высоковакуумных камер.

Известен способ обезгаживания вакуумных камер за счет термического прогрева стенок и внутренней арматуры при помощи внешних (печь, обмотка) и внутренних (радиационных) нагревателей. К недостаткам этого способа относятся большая длительность прогрева, обусловленная относительно низкой допустимой температурой обезгаживания, невозможность использования в камерах элементов, не допускаюших прогрева свыше 100°С, и низкий коэффициент полезного использования подводимой энергии (0,001).

Предлагаемый способ позволяет сократить время обезгаживания и обеспечивает возмож ность обезгаживания камер с элементами, не допускающими прогрева выше 100°С. Это достигается тем, что прогревается не вся толщина стенок, а лишь внутренний слой микронной толшины. Нагрев этого слоя осуществляется за счет резонансного поглощения внутренними стенками камеры СВЧ-энерпии, вводимой от внешнего генератора в виде импульсов длительностью 1-10 мксек. Выделяемое в скинслое джоулево тепло вызывает его нагрев до температуры, определяемой подводимой мощностью. Ввиду малой длительности импульсов ( сек потери энергии за счет теплопроводности стенок не превышают 15%. Импульсный генератор мощностью 150 кет способен нагревать внутренние стенки камеры из стали Х18Н9Т объемом 10 лз до температуры 1000°С (в импульсе).

Обезгаживание сводится к удалению газов, адсорбированных на внутренней поверхности и растворенных в скин-слое. Интенсивность обезгаживания регулируется частотой посылок импульсов, согласованной с быстротой откачки насоса. Упомянутую выше камеру, откачиваемую насосом со скоростью Ю л1сек, можно обезгазить за 30 мин.

Обезгаженный приповерхностный слой в течение нескольких часов предотвращает диффузию к поверхности газов, растворенных в необезгаженной толще стенок.

Предмет изобретения

20

Спосо б обезгаживания стенок и внутренней арматуры высоковакуумных камер путем их нагрева, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени обезгаживания и обеспечения возможности обезгаживания камер с элементами, не допускающими прогр ева выше 100°С, внутрь обезгаживаемой камеры подают импульс сверхвысокочастотного электромаг