ТЕХНИЧЕСКАЯ '' ВИ&ЛЙОП^К* Советский патент 1970 года по МПК C30B15/30 

Известны установки для вытягивания из расплава монокристаллов, включающие герметичную камеру, в полости которой установлен тигель с исходным материалом и по-мещен затравкодержатель, укрепленный на приспособлении для подвешиеания его по оси тигля, устройство для возврагно-поступательного перемещения приспособления для подвещивания затравкодержателя по вертикали, выполненное в виде приводного барабапа с горизонтальной осью вращения, и устройство для сообщения затравкодержателю вращения вокруг вертикальной оси, изготовленное в виде расположенной коаксиальио приспособлению для подвещивания затравкодержателя приводной втулкой с вертикальной осью вращения. В известной установке приспособление для подвещивания затравкодержателя состоит из стержневого элемента, на котором укреплен затравкодержатель, и связанного с иим гибкого элемента, верхняя часть которого наматывается на приводной барабан.

Отличием предлагаемой установки является то, что приспособление для подвещивания затравкодержателя выполнено в виде цепи из ряда сферических полых элементов с внещНйм диаметром сфер, обеспечивающим их фрикционное зацепление с втулкой, соединенных друг с другом подвижно ири помощи жестких соединительных элементов, имеющих

поперечные размеры, меньшие диаметра сфер. Это дает возможность исключить маятниковое движение затравкодержателя относительно оси тигля и устранить передачу ему вибрации от приводных двигателей.

На чертеже показана описываемая установка.

Она содержит герметичную камеру 1, в полости которой находится тигель 2 с исходным

материалом. В крыщке камеры имеется отверстие 3, предназначенное для установки в нем втулки 4, соединенной гибкой связью 5 с приводом 6 вращения, помещенным на крыщке камеры. Втулка может быть установлена в отверстии 3 при помощи подшипника. В полости втулки расположен вкладыщ 7 из материала с высоким коэффициентом трения и хорощими термостойкими свойствами, например «3 тефлона. По оси тигля в полости

камеры размещен затравкодержатель 8, служащий для крепления затравки.

Приспособлепие для подвешивания затравкодержателя по оси тягля выполнено в виде

цепи из ряда полых сферических элементов 9. подвижно связанных друг с другом при помощи соединительных элементов 10, имеющих поперечные размеры, меньщие диаметра сфер. Внешний диаметр сфер обеспечивает их фрик