СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЕ Советский патент 1970 года по МПК G01R27/02 

Известен способ измерения удельного cortротивлеиия материалов ino изменению добротности объемиого колебатель-ного контура при выполнении этого контура из исследуемого материала или введении внутрь его исследуемого материала.

Особенность предлагаемого способа состоит в том, что испытуемый материал вводят в зазор сердечника тороидальной катушки колебательного контура. Это дает возможность упростить процесс измерения.

На фиг. 1 изображен датчик с испытуемым полупроводниковым образцом; на фиг. 2 - блок-схема устройства для осуществления предлагаемого способа.

Исследуемый образец 1 полупроводникозого материала вводят в зазор 2 тороидального сердечника, на котором укреплена обмотка 3, являющаяся индуктивностью высокочастотного колебательного контура. Из-за возникающих в образце вихр.евых токов изменяется добротность контура. Сравнивая добротность контура до и после .введения кристалла или пластины материала в зазор 2 сердечника, находят величину удельного сопротивления материала.

Изменение добротности, определяемое датчиком 4 (тороидальным сердечником с обмоткой), фиксируется индикатором 5 и может оцениваться по отклонению стрелки измерительного прибора 6. Датчик предварительно калибруют с по1Мощью образцов, имеющих известное удельное сопротивление. Измерение производится бесконтактным методом, обеспечивающим измерение кристаллов малых размеров (площадью до 2,25 мм) с удельным сопротивлением 0,022 - 0,036 ом/см. Погрещность не превышает 5 - 7%.

Предмет изобретения

Способ измерения удельного сопротивления, основанный на определении добротности резонансного колебательного контура, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения величины удельного сопротивления

полупроводниковых кристаллов и тонких пластин из полупроводникового материала, кристалл или пластину вводят в зазор сердечника тороидальной катущки колебательного контура и по изменению величины добротности контура определяют удельное сопротивление испытуемого образца.