УСТРОЙСТВО для НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИИв ВАКУУМЕ Советский патент 1970 года по МПК C23C14/04 

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.

Известно устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены высоковольтный электрод, диск с распыляемыми материалами и диски подложек и трафаретов.

В предлагаемом устройстве диски подложек и трафаретов установлены по отношению друг к другу эксцентрично, что улучшает качество покрытий.

На чертеже представлен общий вид предлагаемого устройства.

Оно состоит из камеры /, внутри которой расположены высоковольтный электрод 2, диска 5 с распыляемыми материалами, диска 4 подложек и диска 5 трафаретов, установленных по отношению друг к другу эксцентрично. При поднятом колпаке камеры на диске 4 закрепляют подложки, а на диске 5 трафареты. В ячейки диска 3 помещают распыляемые материалы. Высоковольтный электрод отведен в нижнее положение. Система откачивается до

заданного разряжения и производится напуск инертного газа и с помощью системы электродов создается плазма. Высоковольтный электрод, перемещаясь в верхнее положение, захватывает распыляемый материал и вносит его в зону распыления, защищенную экраном 6. Далее, на электрод подается, потенциал и происходит предварительное распыление материала с целью его очистки. При перемещении диска 4 подложек в нижнее положение производится совмещение подлолсек с трафаретом на позиции напыления. Открывается заслонка 7, и производится напыление слоя материала.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения многослойных покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены высоковольтный электрод, диск с распыляемыми материалами и диски подложек и трафаретов, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия, диски подлол ек и трафаретов установлены по отношению друг к другу эксцентрично.

S f

V