11звестная установка для нанесения металлического покрытия на изделия из стекла включает вакуум-испарительную камеру с колпаком, диском, катодом, подключаемым к высоковольтному вводу, и фотометрическое устройство.
Нанесение многослойных покрытий из различных материалов на этой установке затруднено.
Целью настоящего изобретения является обеспечение возможности нанесения на изделия многослойного покрытия из разных материалов.
Это достигается тем, что диск установлен с возможностью вращения и над ним смонтированы плоские секторные .катоды, поочередно подключаемые к высоковольтному вводу.
На фиг. 1 изображен поперечный разрез установки; на фиг. 2 изображена установка в плане.
Установка для нанесения покрытия включает вакуум-испарительную камеру / с колпаком 2, вращающийся диск 3, высоковольтные вводы 4, на которых закреплены выполненные в виде секторов катоды 5 из различных распыляемых материалов, подключаемых поочередно к высоковольтному вводу.
ходит непрерывно без подъема колпака 2 для контроля толщины покрытий.
Замер толщины производится в процессе напыления с помощью специального фотометрического устройства 8 и эталонный образец 7. Нроцесс получения многослойных покрытий на предлагаемой установке происходит следующим образом.
Изделие 6 и эталонный образец укладываются в кассетах на вращающийся диск 3 под катоды 5.
В камере 1 создается давление порядка 5- м.и рт. ст., затем открывается игольчатый клапан натекателя 9 и в камеру 1 впускается кислород до давления 5 лиг рт. ст. Затем включается вращающийся диск 3 и тлеющий разряд на первом катоде 5, в результате чего происходит напыление деталей. Изделие периодически выходит из-под катода и в это время охлаждается.
Одновременно наносится слой на вращающийся в центре эталонный образец 7.
С помощью фотометрического устройства 8 в промежутке между напылением наблюдается изменение светопропускания или отражения образца за счет увеличения толщины напыляемой пленки.
тем включается второй катод, происходит напыление другого материала и т. д.
Таким образом полный цикл напыления многослойных покрытий и контроль толщины пленки происходят за один цикл работы установки.
Предмет изобретения
Установка для нанесения металлического покрытия на изделия из стекла, включаюи ая
вакуум-испарительную камеру с колпаком,, диском, катодом, подключаемым к высоковольтному вводу, и фотометрическое устройство, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности нанесения на изделия многослойного покрытия из разных материалов, диск установлен с возможностью вращения и над ним смонтированы плоские секторные катоды, поочередно подключаемые к высоковольтному вводу.
