КАССЕТА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1970 года по МПК H01L21/66 

Описываемая кассета относится к оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов и может быть использована в качестве носителя при испытаниях и замерах электрических параметров этих приборов.

Известны кассеты для проверки электрических параметров полупроводниковых приборов при нормальных, а также повышенных и понилсенных температурах. Они имеют подпружиненные лепестковые контакты с распайкой к общей колодке. В результате этого многоместные кассеты получаются и ненадежными, так -как выход из строя хотя бы одного лепестка влечет за собой выход из строя всей кассеты.

Конструкция описываемой кассеты более надежна, так как позволяет исключить контактную систему из самой кассеты, автоматизировать загрузку приборов в кассету и выгрузку их из нее, причем выгрузка приборов из кассеты осуществляется пощтучно, что позволяет упростить конструкцию разбра-ковочного устройства.

Па фиг. 1 изображена кассета, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1.

Корпус 1 кассеты выполнен из алюминиевого сплава. К корпусу крепятся две гребенки 2 из изолирующего материала, имеющие сквозные пазы 3, выполненные с шагом 10 мм. В гребенках 2 выполнены также направляющие пазы 4 и 5 для подвил ных рамок 6 и 7 П-образной формы. Для предотвращения короткого замыкания приборов рамка 7 также выполнена из изолирующего материала. К рамке 6 предъявляются те же требования. Рамка 6 фиксируется в рамке 7 благодаря наличию в последней паза 8 так, что при вытягивании рамки 7 из корпуса 7 она вытягивает и рамку 6. В корпус рамка 7 подается незаБиси: ю от рамки 6. Рамка 6 может быть подана в корпус 1 только после рамки 7 или вместе с ней.

Загрузка приборов производится следующим образом. Кассета устанавливается на столик так, чтобы рамка 6 оказалась сверху. Рамка 7 остается в -корпусе /, а рамка 6 выдвигается из корпуса до упора ее буртика в корпус кассеты. Приборы укладываются

фланцами в противополол ные стороны в пазы 3 гребенок 2 так, что они ложатся выводами на рамку 7. После заполнения первого ряда рамка 6 задвигается в корпус / до отказа, кассета переворачивается, и приборы

аналогично загрул аются во второй ряд, а нижний ряд приборов фиксируется рамкой 6. Контакты измерительного устройства, укрепленные в специальных колодках, под действием прулчнн прил нмаются к выводам принапряжением. Конструкция кассеты позволяет производить контактирование путем подвода контактов измерительного устройства непосредственно к выводам приборов. Разгрузка приборов происходит следующим образом. Корпус / кассеты фиксируется неподвижно благодаря наличию в нем паза 9 выступом какой-либо неподвижной детали, а подвижный элемент входит своим выступом в паз 10 рамки 7. При вытягивании рамки 7 она вытягивает рамку 6 и приборы из корпуса / выпадают по очереди: сначала нижний, потом верхний, так как рамка 6 короче рамки 7 на величину, равную /2 шага между пазами кассеты. 5 10 15 Предмет изобретения Кассета для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов, содержащая корпус с гнездами и держателями приборов, отличающаяся тем, что, с целью увеличения надежности сортировки приборов, расположенных в два яруса, в корпусе кассеты, представляющей собой прямоуго„тьную рамку со сквозными прорезями и направляющими пазами, размещены подвижно две П-образпые рамки, взаимодействующие между собой торцовыми образующими, причем нижняя рамка короче верхней на половину величины шага прорезей корпуса.