СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТОВ Советский патент 1970 года по МПК G03F1/00 H05K3/06 

Описание патента на изобретение SU272407A1

Известные сцособы изготовления трафаретов не обеспечивают получение рисунка на трафарете, ориентированного относительно системы отсчета и закрепления так же, как долж.н быть получен рисунок на подложке.

В предлагаемом способе получение ориентированного рисунка на трафарете достигается тем, что при помощи фотооригинала изготавливают дубликат трафарета, имеющий указанную ориентацию рисунка, затем при помощи дубликата изготавливают трафарет.

Описываемый способ поясняется чертежом.

На фиг. 1 показано изготовление Дублината; на фиг. 2 - изготовление трафарета.

Фотоорнгинал / с изображением нужного рисунка устанавливают в механизм совмещения 2, содержащий регулировочное устройство, с помощью которого ориентируют рисунок фотооригинала относительно центров сферических фиксаторов так же, как должен быть ориентирован рисунок на подложке. Ориентацию производят известными способами, например при помощи установочного эталона, приводя в совпадение установочные знаки фотооригинала с узлами штриховой сетки растровой пластинки установочного эталона, ставящегося па фиксаторы механизма совмещения. Затем установочный эталон снимают, и

на фиксаторы механизма совмещения устанавливают заготовку дубликата трафарета, покрытую светочувствительным слоем, например сухим коллодионом. Производят экспонирование рисунка, фотооригинала на заготовку 3 дубликата при помощи светового пучка, направленного по стрелке А.

Заготовку дубликата снимают, производят обработку фотохимическими способами и получают дубликат трафарета, содержащий зеркальное изображение рисунка фотооригинала с той же ориентацией рисунка, какая должна быть получена на подложке.

Затем в механизм совмещения 4, содержащий устройство для приведения в совпадение систем отсчета и закрепления трафарета и подложки, устанавливают на одну пару фиксаторов заготовку 5 трафарета, покрытую светочувствительным слоем, а на другую пару - изготовленный дубликат 6 трафарета. Производят экспонирование рисунка дубликата 6 на заготовку 5 трафарета при помощи светового пучка, направленного по стрелке Б. Затем заготовку трафарета обрабатывают фотолитографическим способом и получают трафарет с рисунком, имеющим такую же ориентацию, какую должен иметь рисунок на подложке относительно ее системы отсчета и закрепления. Предмет изобретения Способ изготовления трафаретов с использованием механизмов совмещения, отличающийся тем, что, с целью получения такой же 5 ориентации рисунка трафарета, относительно системы закрепления и отсчета, какая должна быть у рисунка на подложке, при помощи фотооригинала изготавливают дубликат трафарета, имеющий указанную ориентацию рисунка, затем при помощи дубликата изготавливают тр.афарет.

Похожие патенты SU272407A1

название год авторы номер документа
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО РИСУНКА НА ЦИЛИНДРИЧЕСКУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ И ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ КОНТАКТНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2012
  • Петров Сергей Николаевич
  • Решетников Геннадий Иванович
  • Савицкий Виталий Николаевич
RU2519872C2
Способ изготовления рентгенолитографического шаблона 2019
  • Генцелев Александр Николаевич
  • Дульцев Федор Николаевич
RU2704673C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ ДЛЯ LIGA-ТЕХНОЛОГИИ 2007
  • Генцелев Александр Николаевич
  • Гольденберг Борис Григорьевич
  • Кондратьев Владимир Иванович
  • Петрова Екатерина Владимировна
RU2350996C1
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ 2007
  • Генцелев Александр Николаевич
  • Гольденберг Борис Григорьевич
  • Елисеев Владимир Сергеевич
  • Кондратьев Владимир Иванович
  • Петрова Екатерина Владимировна
  • Пиндюрин Валерий Федорович
RU2344453C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЯМОГО ЛАЗЕРНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ 2014
  • Шелавин Андрей Васильевич
  • Сафьянников Николай Михайлович
RU2567013C1
Способ изготовления формообразующих элементов с фактурированной поверхностью 1989
  • Лангин Олег Николаевич
  • Мордасов Алексей Сергеевич
  • Даурцева Лариса Ицкоевна
SU1773710A1
Способ контроля печатных плат с отверстиями 1983
  • Храмова Лариса Николаевна
  • Салов Леонид Иванович
  • Киселев Владимир Анатольевич
  • Сикора Юлия Владимировна
  • Кичко Татьяна Алексеевна
SU1148132A1
Способ изготовления шаблона 1988
  • Войтович Александр Павлович
  • Калинов Владимир Сергеевич
  • Матюшков Владимир Егорович
  • Салтанов Андрей Викторович
SU1788532A1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕШЕТЧАТОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ, РЕШЕТЧАТОЕ ИЗОБРАЖЕНИЕ И ЗАЩИТНЫЙ ДОКУМЕНТ 2003
  • Кауле Виттих
RU2314932C2
Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом 2018
  • Самсоненко Борис Николаевич
  • Разувайло Сергей Николаевич
RU2674405C1

Иллюстрации к изобретению SU 272 407 A1

Реферат патента 1970 года СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТОВ

Формула изобретения SU 272 407 A1

SU 272 407 A1

Даты

1970-01-01Публикация