Известные сцособы изготовления трафаретов не обеспечивают получение рисунка на трафарете, ориентированного относительно системы отсчета и закрепления так же, как долж.н быть получен рисунок на подложке.
В предлагаемом способе получение ориентированного рисунка на трафарете достигается тем, что при помощи фотооригинала изготавливают дубликат трафарета, имеющий указанную ориентацию рисунка, затем при помощи дубликата изготавливают трафарет.
Описываемый способ поясняется чертежом.
На фиг. 1 показано изготовление Дублината; на фиг. 2 - изготовление трафарета.
Фотоорнгинал / с изображением нужного рисунка устанавливают в механизм совмещения 2, содержащий регулировочное устройство, с помощью которого ориентируют рисунок фотооригинала относительно центров сферических фиксаторов так же, как должен быть ориентирован рисунок на подложке. Ориентацию производят известными способами, например при помощи установочного эталона, приводя в совпадение установочные знаки фотооригинала с узлами штриховой сетки растровой пластинки установочного эталона, ставящегося па фиксаторы механизма совмещения. Затем установочный эталон снимают, и
на фиксаторы механизма совмещения устанавливают заготовку дубликата трафарета, покрытую светочувствительным слоем, например сухим коллодионом. Производят экспонирование рисунка, фотооригинала на заготовку 3 дубликата при помощи светового пучка, направленного по стрелке А.
Заготовку дубликата снимают, производят обработку фотохимическими способами и получают дубликат трафарета, содержащий зеркальное изображение рисунка фотооригинала с той же ориентацией рисунка, какая должна быть получена на подложке.
Затем в механизм совмещения 4, содержащий устройство для приведения в совпадение систем отсчета и закрепления трафарета и подложки, устанавливают на одну пару фиксаторов заготовку 5 трафарета, покрытую светочувствительным слоем, а на другую пару - изготовленный дубликат 6 трафарета. Производят экспонирование рисунка дубликата 6 на заготовку 5 трафарета при помощи светового пучка, направленного по стрелке Б. Затем заготовку трафарета обрабатывают фотолитографическим способом и получают трафарет с рисунком, имеющим такую же ориентацию, какую должен иметь рисунок на подложке относительно ее системы отсчета и закрепления. Предмет изобретения Способ изготовления трафаретов с использованием механизмов совмещения, отличающийся тем, что, с целью получения такой же 5 ориентации рисунка трафарета, относительно системы закрепления и отсчета, какая должна быть у рисунка на подложке, при помощи фотооригинала изготавливают дубликат трафарета, имеющий указанную ориентацию рисунка, затем при помощи дубликата изготавливают тр.афарет.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО РИСУНКА НА ЦИЛИНДРИЧЕСКУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ И ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ КОНТАКТНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2012 |
|
RU2519872C2 |
Способ изготовления рентгенолитографического шаблона | 2019 |
|
RU2704673C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКОЙ МАСКИ ДЛЯ LIGA-ТЕХНОЛОГИИ | 2007 |
|
RU2350996C1 |
СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ЛИТОГРАФИИ | 2007 |
|
RU2344453C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЯМОГО ЛАЗЕРНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ | 2014 |
|
RU2567013C1 |
Способ изготовления формообразующих элементов с фактурированной поверхностью | 1989 |
|
SU1773710A1 |
Способ контроля печатных плат с отверстиями | 1983 |
|
SU1148132A1 |
Способ изготовления шаблона | 1988 |
|
SU1788532A1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕШЕТЧАТОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ, РЕШЕТЧАТОЕ ИЗОБРАЖЕНИЕ И ЗАЩИТНЫЙ ДОКУМЕНТ | 2003 |
|
RU2314932C2 |
Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом | 2018 |
|
RU2674405C1 |
Даты
1970-01-01—Публикация