СИСТЕМА ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОИЗВОДСТВОМ ФОТОШАБЛОНОВ Советский патент 1970 года по МПК G06F9/00 

1

Устройство относится к области вычислительной техники.

Создание фотошаблонов широко применяется в микроэлектронике, однако процесс изготовления фотошаблоиов в настоящее вре},1Я является, в основном, ручным или полуавтоматическим.

Известны авто.матизирооанные системы для производства фотошаблонов с примепением вычислительных машин. Недостатком нх является большое количество электронного оборудования и последовательное формпрование коммуникационного варианта интегральных схем из отдельных соединительных проводников, изображения которых хранятся в библиотеке схемных элементов ЭВМ.

В описываемой системе путем возложения функций аналнза интегральных схем и функций управления фотомонтажиой машиной на управляющую ЭВМ, введением в комплекс системы прерывания программ и библиотеки необходимых для изготовления фотошаблонов коммутацнонных вариантов сокращается электронное оборудование и повышается производительность труда. Для этого контактирующее устройство зондовой установки через коммутационную матрицу и аналого-цифровой преобразователь соединено с цифровой вычнслптельной машиной, которая соединена с блоком контрольных и стандартных подпрограмм

п блоком рабочих программ, выход цифровой вычислительной : 1ашины соединен через схему уиравления зоидовой установки со схемами иривода координатного стола зондовой установки и через схемы унравления двигателялги и ирпводами координатных столов фотомонтажных .машин с фотомонтажными машнналги. Устройство ввода-вывода через вентиль соедннено с блоком рабочнх нрограмм и

неносредственно со с.хемамп унравления фотомонтажных машин. Коммутационная матрица соедннена с нрограммируемым источником питання н программируемым источником входных воздействий. Входы системы прерывания ирограмм соединены со схемой привода зондовой установки н схемами управления двигателями фотомонтажных машин, а выход ее соедннеи с вычнслительной машиной. На чертеже изображена блок-схема предлагаемой системы.

Комплекс управляет тремя фотомонталшыми машннамп. При увеличении количества управляемых фотомонтажных мащин увеличение оборудования пдет только за счет схем

управления н приводов двигателей фотомонтажных мащин.

вода стола зондовой установки 3, которые, в свою очередь, управляются цифровой вычислительной машиной (ЦВМ) 4 через схемы управления двигателями зондовой установки 5. Контактирующее устройство зондовой установки 6 обеснечивает контакт с выводами интегральных схем, подключая их к коммутационной матрице 7. Коммутациоиная матрица 7 но командам из ЦВМ 4 подает иа определенные контакты интегральной схемы напряжения программируемого источника питания 8 и напряжения программируемых источников входиых воздействий 9 и подключает к выходным контактам интегральных схем нреобразователь напряжение-код (аналогоцифровой преобразователь) 10, преобразующий выходные напряжения интегральных схем в цифровой код. Цифровой код затем передается в ЦВМ 4, которая работает по программе, записаниой в блоке рабочих программ //. Кроме того, тестовые программы для проверки работоспособности ЦВМ и стандартные подпрограммы хранятся в блоке контрольных и стандартных иодпрограммы 12 с жесткой зашивкой программ.

Смена программ блока рабочих программ li производится с помощью устройства вводавывода информации с перфолеиты 13 через вентили 14 и но командам с ЦВМ. Данные, поступаемые с преобразователя напряжениекод 10 на ЦВМ анализируются, и на их основании ЦВМ дает команды на схемы управления двигателями фотомонтажных машин 15- 17, управляющих приводами коордипатпых столов фотомонтажных машин 18-20; которые находят в библиотеке коммутационных вариантов нужный коммутационный варнаит, требуемый для соединения интегральных схем или частей схем контролируемой пластииы, и дает команду иа фотомоитажные амшпны 21-23 для экснонирования найденного коммутационного варианта на фотопластину для получения фотошаблона контролируемой интегральной схемы. Библиотека коммутациоиных вариантов составляется заранее и располагается в верхнем координатном столе фотомонтажной машины.

Для достижения второй поставленной цели - повышения производительности процесса ири работе ряда фотомонтажных машин, управляемых одной ЦВМ, в комплекс введена система ирерываиия программ 24.

Малая скорость работы двигателей по сравнению со скоростью работы электронного оборудования дает возможиость при помощи системы ирерывания программ 24 использовать время, необходимое для отработки двигателями привода фотомонтажных машин /8-20 команд ЦВМ, для зондового контроля интегральных схем, подачи команд на другую фотомонтажную машину, вывод результатов зондового контроля на перфоленту. Цодавая команду на схему унравления двнгателями одной из фотомонтажных машин, ЦВМ продолжает работу по зопдовому контролю, выводу

данных на перфоленту н т. д., не ожндая конца отработки двигателя фотомонтажной машины команды ЦВМ. Сигнал отработки двигателя фотомонтажной машииы команды 5 ЦВМ через схему управления двигателями фотомонтажиых машин 15 (или 16 и 17) ироходит на вход ситемы прерывания программ, подающей в ЦВМ команду с возможностью работы с данной фотомонтажной машиной.

10 Б комплексе нредусмотреи и автопомиый режим работы фотомоптажиой машииы от устройства ввода-вывода с перфоленты 13. В даппом случае в устройство ввода-вывода с перфолеиты 13 закладывается перфолента, на ко15 юрой записаиы номера нужиых коммутациопиых вариаитов, и фотомонтажная машина иаходпт требуемые коммутациоппые вариапты по комаидам с перфоленты, передаваемым через схемы управленпл двигателями фото0 моптажиых .машпп. Таким образом, наличие системы прерывапия программ п автономного режима работы фотомоитажиой машины от перфолепты обеспечивает параллельную работу фотомоитажных машин, зоидовой установки и вывода данных из ЦВМ иа перфолепту.

Предмет изобретения

Система для управления производством фо0 тошаблоиов при изготовлеиии соедииений интегральных схем, частей схем или груии схем, содержащая зоидовую установку, фотомонтажную машину, ириводы зоидовой установки, приводы фотомоптажиой машииы, комплекс преобразователей с коммутациоиной матрицей, вычислительиую машииу, устройства управлепия, устройства ввода-вывода, устройства рабочих программ, спстему прерывания, фотосчитывающие устройства, отли0 чающаяся тем, что, с целью сокращения оборудования и иовышения ироизводительности, в нем контактирующее устройство зоидовой устаповки через коммутационную матрицу и аналого-цифровой иреобразователь соединено с цифровой вычислительной машиной, которая соединена с блоком контрольных и стандартных подпрограмм и блоком рабочих программ, выход цифровой вычислительпой машины соединен через схему управления зондовой

0 устаповкп со схемами привода координатпого стола зондовой установки и через схемы управления двигателями и приводами коордииатных столов фотомонтажных машин с фотомонтажиыми машииами, устройство ввода-вывода через вентиль соединено с блоком рабочнх ирограмм и непосредственно со схемами управления фотомоитажных машин, коммутационная матрица соединена с программируемым источником питания и программпруемым источником входиых воздействий, входы системы прерывания программ соедииены со схемой иривода зоидовой установки и схемами управления двигателями фотомонтажных машин, а выход ее соединен с