ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО для ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1970 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к области нанесения вакуумных нокрытий.

Известно шлюзовое устройство для 1вакуумных установок, содержащее шлюзы.

Предложенное устройство отличается от известиого тем, что шлюзы выполнены в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков со ступенчато-понижаюш,им давлением вакуумноилотных камер, сиабженных загрузочными механизмами роторного типа.

Данное устройство обеспечивает непрерывность подачи штучных изделий в вакуумную камеру.

На чертеже лредставлеио предлагаемое устройство.

Оно состоит из шлюзов, выполненных в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков / со стуиенчато-ионижаюш,им давлением вакуумноплотных камер 2, снабженных загрузочными меха}1измами 3 роторного тииа. Виутренняя поверхность корпуса вакуумноплотпых камер и наружная поверхность загрузочного механизма образуют узкую шель, ог.раничиваюшую натекание из ооласти низкого вакуума в область более высокого вакуума. Отсеки / соедииены отсасываюш,ими патрубками 4 с вакуумными насосами 5.

Из б}нкера 6 изделия попадают в гнездо 7 загрузочного механизма 3, а затем при повороте последнего на 180° изделия попадают через отсек / в гнездо 7 следуюш,его загрузочного механизма 3. Пройдя последовательно через все отсеки, изделия поступают в -вакуумную камеру 8.

Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержаш,ее шлюзы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения непрерывности подачи штучных изделий в вакуумную ка.ме.ру, шлюзы выполнены в виде последовательно соедииенных между собой посредством отсеков со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер, снабженных загрузочными механизмами роторного типа.