Электродуговой испаритель Советский патент 1976 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродугозой испаритель, содержащий поджигающий электрод, анод и катод.

Предложенный испаритель отличается от известного наличием дополнительного анода, охватывающего нерабочую поверхность катода.

Это обеспечивает стабильное горение дуги при малых токах.

Па чертеже представлен предлагаемый испаритель.

Он состоит из поджигающего электрода 1, анода 2, катода 3 и дополнительного анода 4, охватывающего нерабочую поверхность катода.

Деталь 5, подлежащая покрытию, расположена в области анода. Дуга в испарителе горит между катодом 3 и анодом 2, а ток в цепи дополнительного анода 4 появляется лишь в момент ухода катодного пятна с торцевой поверхности на боковую.

Благодаря худшим условиям горения дуги 3 малых зазорах катодное пятно самопроизвольно возвращается на торцевую поверхкость катода, при этом дуга на торцевой поверхности катода при таких условиях самопроизвольно не гаснет.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель, содержащий поджигающий электрод, анод и катод, отлич а ю щ и и с я тем, что, с целью обеспечения стабильного горения дуги при малых токах, испаритель снабжен дополнительным анодом, охватывающим нерабочую поверхность катода.