Электродуговой испаритель металлов Советский патент 1976 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме. Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод. Однако, в таком испарителе значительная часть паров вылетает в пределах угла О- 45° к испаряемой поверхности, т. е. испарение не подчиняется закону косинуса, что снижает экономичность испарителя из-за потерь металла в стороны, загрязняет камеру и может привести к зарастанию зазора между катодом и дополнительным анодом. Целью изобретения является повышение качества покрытий и иадежности работы. Достигается это тем, что катод выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхняя кромка катода расположена не выще верхней кромки дополнительного анода. На чертеже представлен предлагаемый электродуговой испаритель металлов, общий вид. Испаритель состоит из корпуса-анода 1, внутри которого расположены катод 2, поджигающее устройство 3 и дополнительный анод 4, расположенный коаксиально с катодом 2. Катод 2 выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхняя кромка катода расположена не выще верхней кромки дополнительного анода 4. После откачивания воздуха из камеры до высокого вакуума кратковременным прикосновением поджигающего устройства к верхней кромке катода зал игают электрическую дугу. Катодное пятно сбегает внутрь полости катода и начинает гореть на дпе стакана, испаряя его. Часть испарившегося металла конденсируется на стенках стакана. Катодное пятно сразу же переходит на эти пленки, выжигает их и возвращается на дно стакана. Этот процесс все время повторяется. Стенки стакана испаряются при этом незначительно. При горении катодного пятна на нанесенных пленках брызги металла отсутствуют, т. е. происходит его полное испарение. Таким образом, стенки стакана способствуют более полному испарению металла и препятствуют вылету паров и брызг в стороны. Наличие легкоиспаряемых пленок также приводит к стабилизации горения дуги. Формула изобретения Электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод, расположенный коаксиально с катодом, о т л и чаю и, и и с я тем.

что, с целью повышения качества покрытии и надежности работы, катод выполнен в- виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхняя кромка катода расположена не выше верхней кромки дополнительного анода.