Электродуговой испаритель Советский патент 1976 года по МПК C23C13/12 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме. Известен электродуговой испаритель, содержащий анод, испаряемый катод, sKipaK, охватывающий нерабочую поверхность катода, и поджигающее приспособление. Однако в иззестном испарителе наблюдается появление двойного дугового разряда н, как следствие, дуговой разряд между анодом и экраном, приводящий к выходу из строя испарителя. Целью данного изобретения является повышение надежности и устойчивости испарителя. , Эта цель достигается тем, что между экраном и анодом включен конденсатор. На чертеже представлен общий вид испарителя. Испаритель состоит из анода 1, испаряемого катода 2, экрана 3, охватывающего нерабочую поверхность катода, и поджигающего приспособления 4. Между экраном 3 и анодом 1 включен конденсатор 5. Катод 2 и экран 3 укреплены на изоляторе 6. Поджигающее приспособление 4 изолировано от корпуса испарителя изолятором 7 и соединено с анодом 1 через ограничивающее сопротивление 8. Сопротивление 8 уменьшает ток через поджигающее приспособление 4 и, следовательно, уменьшает возможность приваривания последнего к катоду. Испаритель подключают к источнику постоянного тока. При наличии вакуума в камере кратковременным прикосновением поджигаюи1,его приспособления к катоду зажигают вакуумную дугу, горящую в парах материала катода. Из-за наличия токов утечки экран 3 может иметь больший потенциал, чем катод 2. Однако нри сбегании катодного пятна на боковую поверхность, конденсатор 5 быстро заряжается и экран 3 получает потенциал :Катода. Ток между катодом и экраном прекращается и катодное пятно на экране не возникает. В испарителе полностью устранены переходы дуги 1на экран, что повышает надежность и устойчивость работы испарителя и исключает загрязнение осаждаемых пленок материалом экрана. Формула изобретения Электродуговой испаритель, содержащий анод, испаряемый катод, зкраи, охватывающий нерабочую поверхность катода, и поджигающее приспособление, отличающийс я тем, что, с целью повышения падежности и устойчивости испарителя, между экраном и анодом включен конденсатор.