Даиное изобретение относится к техаи.ке отмывки труб.
В настоящее иремя в полуцроводнико-вой технике в диф:фузион;ных печах испошьзуются кварцевые трубы, которые периодически вручную отмывают особо частой плавижовой кислотой.
Известны в технике отмывки труб устройслва, содержащие ванну, систему лодачи реагента, траиопорти.рующее приспособление и привод, не рассчитаны для работы с агрессивной плавиковой кислотой, сложны по конструкции, требуют большого расхода моющего реагента.
Целью данно го изобретения является повышение качества отмывки внупренней поверхности труб И устранение вышеуказанных недостатков известных (В настоящее время устройств, что достигается лутем выполнения траиспортирующего приспособления в виде двух установленных с возможностью синхронного вращения диокав, имеющих радиальные назы неодина.кавой глубины для эксцентричного расположения концов трубы относительно оси вращения.
На фиг. 1 схематично показано предлагаемое устройство; на фиг. 2 - то же, разрез по А-Л; фиг. 3 - то же, вид по стрелке Б.
тым воздухом 3, опорные ролики 4, п|ри.вод роликов 5. На опорные ролики установлены два диска 6, связанные .между собой стяж,ками 7. Диски имеют радиальные пазы 8 неодинаковой глубины для эксцентричного расположения концов трубы относительно оси вращения, в которых расположены ползуны 9 с прижимными винтами 10. Штыри 11 фиксируют ползуны в дисках. Труба устанавливает,ся в пазу и закрепляется прижимными винтами.
Данное устройство работает следующим образо м.
Закрепленная в дисках трубы заполняется
небольщим количеством реагента, герметизируется (резиновьими колпачками или пробками. При включении привода диски, расположенные на опорных роликах, начинают вращаться, передавая трубе двил ение: вращение вокруг собственной оси и одновременно перемещение трубы по образующей поверхности iKOHyca, ось которого горизонтальна. При этом юющий реагент, переливаясь вдоль трубы, равномерно отмывает всю внутреннюю
поверхность ее. Число оборотов подбирается так1им, чтобы реагент за один оборот успевал переместиться от одного торца трубы к друПредмет и з о б р е т е i: i; я
Услройство для офмывки труб, содержащее ванну, систему подачи .реагеита, транспортирующее приспособление и прн13од, отличающееся тем, ЧТО , с .целью повышения качества
отмывки .внутренней .назерхно.сти, транспортирующее присаособление выполнено в виде двух установленных с возможностью синхронного вращения дисков, имеющих радиальные пазы неодинаковой глубины для эксцентричного расположения концов трубы относительно оси вращения.
.//
