Изобретение относится к способам ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов, и может быть использовано при производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов.
Известны способы транспортирования деталей под действием сжатого воздуха. Известны также способы ориентации деталей в пространстве с помощью воздушных струй.
Известные способы транспортирования обеспечивают перемещение деталей по наклонному лотку и не предусматривают ориентацию деталей в пространстве. Известный способ ориентации деталей применим лищь для поштучной ориентации деталей, имеющих значительный вес, габаритные размеры и ключи ориентации, соизмеримые с сечением свободной струи сжатого воздуха, создающей опрокидывающий момент.
Целью изобретения является обеспечение групповой ориентации микроминиатюрных деталей со слабо выраженной асимметрией формы, а также симметричных деталей со смещенным центром тяжести.
Предложенный способ основан на транспортировапии деталей под действием сжатого воздуха, поступающего через отверстия в лотке и образующего прослойку .между плоскостями контакта деталей и лотка.
Сущность способа заключается в том, что детали помещают на опорную плоскость камеры, выполненную из пористого матернала, нанример металлокерамики, который представляет собой систему микросопел для подвода сжатого воздуха. Давление сл атого воздуха подбирают таким, чтобы детали, обращенные к лотку большей опорной поверхностью, оказывались во взвешенном состоянии, а остальные детали сохраняли контакт с поверхностью лотка.
Затем камере сообщают направленные гармопические колебания промышленпой частоты (50 гц} илп частоты, кратной последней, для обеспечения потока ориептированиых деталей.
На фиг. 1 дана схема устройства для осуществления предложенного способа; на фиг. 2 - схема ориентации асимметричных деталей; на фиг. 3 - схема ориентации деталей со смещенным центром тяжести.
Устройство для ориентации микроминиатюрных деталей описываемым способом содержит герметичную камеру 1 с крышкой 2 л штуцером , по которому внутрь камеры подается сжатый воздух.
Камера / установлена на упругих подвесках 4, благодаря чему она может колебаться н направлении продольной оси. По лотку 5 детали 6 иостуиают па крышку герметичной камеры, выполненную из микропористого материала, поры которого образуют систему микроскопел. Через эти сопла проходит сжатый воздух, образуя равномерно распределенную воздушную прослойку между крышкой и коптактной поверхностью деталей.
Давление воздуха, подаваемого в камеру /, подбирают таким, чтобы детали, обрашенные к крышке 2 большей поверхностью, оказались во взвешенном состоянии, а детали, обрашенные к крышке 2 меньшей коптактной плоскостью, оставались на ее поверхпости.
Затем камере сообпшют направленные гармонические колебания промышлеппой частоты (50 щ или кратной ей. Детали, соприкасаюшиеся с крышкой, под действием силы трения перемешаются в ориентированном положеппи, образуя поток, а детали, находяшиеся во взвешенном состоянии, остаются на месте или перемешаются в случае наклона лотка в обратном нанравлении.
Описываемый способ может быть осушествлеп и для ориентации симметричных микродеталей со смешенным центром (см. фиг. 3).
Деталь, например призма со смешенным в направлении продольной оси центром тяжести, помешенная на пористую поверхность вибрируюшей камеры, устанавливается тяжелым концом вперед, так как противоположный конец под давлением сжатого воздуха оказывается взвешегшым.
Иснытания устройства, осушествляюшего данный способ, показали, что ориентация микродеталей по мпкроключу возмол на лишь
при наличии системы микросопел, которыми в металлокерамике или другом пористом материале являются поры. Если же отверстия выполняют сверлением, ориентация не обеспечивается.
При испытаниях использовали крышку камеры из металлокерамического материала (титаната бария) с размерами пор 5-20 мк с обшей пористостью 25-50%. Давление в герметичной камере поддерживалось 8- 12 мм вод. ст, при весе детали 0,0016 г. Столь малое давление может быть обеснечено автономным источником питаиия, например вентилятором малой мошпости, что позволяет применять вспомогательную пневмоаппаратуру.
Предмет изобретения
Способ ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов, сжатым воздухом, образуюшим прослойку между поверхностями деталей и опорной плоскостью, отличающийся тем, что, с целью осушествления групповой ориентации деталей со слабо выраженной асимметрией формы, а также симметричных деталей со смешенным центром тяжести, детали помешают на опорную плоскость, выполненную из пористого материала, подают под опорную плоскость воздух с давлением, подобранным из условия взвешенного состояния деталей, обрашенных к опорной плоскости большей поверхностью, а затем сообшают опорной плоскости направленные гармонические колебания.
„PY
4 I
