СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ МИКРОМИНИАТЮРНЫХ ДЕТАЛЕЙ Советский патент 1974 года по МПК H01L21/48 

1

Изобретение относится к усовершенствованию технологического оборудования для производства иолуироводниковых ириборов, в частности к снособу ориентации микроминиатюрных деталей, например нолунроводниковых кристаллов.

Известен снособ ориентации микроминиатюрных деталей сжатым воздухом, образующим прослойку между поверхностями деталей и опорной плоскостью из пористого материала; воздух подается под опорную плоскость с давлением, подобранным из условия взвешеиного состояния деталей, обращенных к опорной плоскости большей поверхностью, при этом опорной плоскости сообщают направленные гармонические колебания. Известен также способ ориентированной раскладки кристаллов в кассеты, который нредусматривает вакуумное крепление кристаллов при вибрационной ориентации их в трафарете.

Общим недостатком известных способов является возможность повреждеиия опорных поверхностей деталей при вибрационном неремещении, а также невозможность групповой ориентации деталей со слабо выраженной асимметрией формы.

С целью исключения перемещепия деталей в процессе групповой ориентации и избежания при этом их повреждения, ориентируемые детали помещают между двумя вакуумными присосами с оиориыми плоскостями, выполиенными из иористого материала, затем создают вакуум, достаточный для удержания ориентируемых деталей, обращенных к опорным плоскостям больщей поверхностью, и разводят вакуумиые присосы с однозначно ориентированными деталями на некоторое расстояние.

Чертеж иллюстрирует предлагаемый способ ориентации микроминиатюрных деталей.

Герметичиая камера 1 вакуумного ирисоса имеет оиорную плоскость 2, выполненную в виде крышки из микропористого материала. Камера снабжена штуцером 3, через который она сообщается с вакуумной системой. Ориентируемые детали 4 помещают на опорную плоскость 2, поры которой создают систему микросопел, через которые отсасывается газ из окружающей среды, образуя равномерное пневматическое иоле на onopHoii плоскости.

При этом величина вакуума выбирается достаточной для удержания деталей на оиорной поверхности вакуумного присоса в один слой. Затем лишние детали сбрасываются, и вакуумный присос совмещают с аналогичным

присосом, под оиорной плоскостью 2 которого создан вакуум, достаточный для удержания деталей, обращенных к ней больщей опорной поверхностью. Затем разводят вакуумные присосы, на которых остаются однозначно ориентироваиные детали, обращенные большей поверхностью к присосам.

s

jarРазделение деталей происходит за счет разности в усилиях присасывания, возникающей на опорных поверхностях деталей, которая пропорциональна разности площадей этнх поверхностей.

Питание обоих присосов осуи,ествляется от общей вакуумной системы, при этом давление может синхронно изменяться в обоих присосах при неизменной разности перепадов давлений.

Предмет изобретения

Способ ориентации микроминиатюрных деталей со слабо выраженной асимметрией фор420016

мы, например полупроводниковых кристаллов, заключающийся в использовании действия вакуума, отличающийся тем, что, с целью исключения перемещения деталей в процессе групповой ориентации и избежания при этом их повреждешь, ориентируемые детали помегцают между двумя вакуумными нрнсосамп с опорными плоскостями, выполненными из пористого материала, затем создают вакуум, достаточный для удержания деталей, обращенных к онорным плоскостям большей поверхностью, и разводят вакуумные нрисосы с однозначно ориентированными деталями на требуемое расстояние.

-V-

,ЙЙ гйёЦ:гйк