Способ получения пленки на основе двуокиси кремния Советский патент 1986 года по МПК C23C22/00 

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ путем нанесения на покрываемую поверхность продукта, полученного гидролизом тетраэтоксисилана водой в органическом растворителе в присутствии кислого катализатора-диффузанта с последующим обжигом его, отличающийся тем, что, с целью достижения более точной дозировки диффузанта, облегчения воспроизведения р-п-переходов с малой глубиной залегания, в качестве кислого катализатора применяют борную или орто—фосфорную кислоту, либо их смесь или мьшьяковьй ангидрид.2.Способ по П.1, отличающийся тем, что борную кислоту берут в таком количестве, чтобы в готовой пленке содержаниеfB^O, составляло 0,001-45%,.3.Способ по П.1, отличающийся тем, что ортофосфорную кислоту берут в таком количестве, чтобы в готовой пленке содержание PgOj составляло 0,001-70%.4.Способ по П.1, о т л и -ч а ющий ся тем, что смесь борной и ортофосфорной кислот берут в таком количестве, чтобы в готовой пленке содержание В^О^ составляло 0,001-45%, а P^Oj 0,001-70%.5.Способ по П.1, отличающийся тем, что мышьяковый ангидрид берут в таком количестве, чтобыв готовой пленке бьшо следующее соотношение: SiOjiASj, 05=55:45.с $S(Л