МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВ Советский патент 1971 года по МПК G01K7/10 

1

Предлагаемое изобретение может быть использовано для изготовления пленочных термометров сопротивления для низких температур.

На основе этого материала, нанесенного на поверхность стекла или других диэлектриков, могут бысть сконструированы высокочувсгвительные, малоинерционные, виброустойчивые датчики температуры, которые найдут широкое применение при решении научных и технических задач, связанных с использованием низких температур.

Особую задачу низкотемпературной термометрии представляет регистрация быстрых изменений температуры, контроль за кинематикой различных тепловых процессов. Эта задача может быть решена с помощью малоинерционных датчиков температуры. Такие термометры могут быть изготовлены на основе термометрических вешеств в виде тонких пленок. Были исследованы разнотолщинные пленки SnOj, свободные от специально вводимых примесей. При охлаждении до гелиевых температур сопротивление пленок возрастает. Воспроизводимость сопротивления пленок после отогрева до комнатной температуры составляет ±1%.

зом зависят от содержания и состава примесей.

Цель изобретения - разработка материала, обеспечивающего наилучшие его термометрические свойства, что достигается применением двуокиси олова, легированного сурьмой в количестве до 60 мол. о/о для изготовления пленочных резистивных датчиков температуры. Пленки получались известным методом

пульверизации спиртовых растворов хлорида олова и хлорида сурьмы. Состав пленки варьируется путем введения различного количества сурьмы в пленку и изменением температуры нанесения пленки от 550° до 750°. Пленки таких составов получались ранее, однако, использовались они только как материал для стабильных резисторов.

Материал по данному изобретению обладает рядом ценных качеств:

хорошими термометрическими свойствами при низких температурах (1,5-300°К) обладают пленки системы SnO2 с концентрацией ЗЬгОз, лежащей в пределах 18-60 мол. % (концентрация примеси в пленке определяется

расчетным путем на основании концентрации

сурьмы в пленкообразующем растворе, исходя

5Ь2Оз. Их ТКС 4,2°К равняется (7- 11) град-i, стабильность при 4,2°К после многократных отогревов до комнатной температуры и термоударов от 4,2 до 90°К равна ± 0,1°К. Удельная электропроводность этих пленок при комнатной температуре равна а 300°К - 100 OM- /CM-i, а при 4, г 10 ом /см-1, что позволяет изготовить датчики температуры с сопротивлением Юг ом при комнатной температуре и Юз ом при гелиевых температурах.

Окиснооловянные пленки, легированные сурьмой обладают высокой химической стойкостью, влагостойкостью, высокой адгезией к поверхности подложки.

Предмет изобретения

Применение двуокиси олова, легированного сурьмой в количестве до 60 мол. % в качестве материала для изготовления пленочных резистивных датчиков температуры.