Изобретение относится к вакуумной технике, а и.менно к устройствам, предназначенным для контроля толщины пленок в процессе их нанесения в вакууме.
Известен интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали в вакуме, содержащий осветительную систему, иризменный блок, разделяющий световой пучок на две параллельные ветви - рабочую и эталонную, объективы, установленные в каждой из ветвей, регистрирующий узел.
Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что с целью повышения точности контроля и расширения технологических возможностей процесса контроля он снабжен экраном, изолируюшим ветви интерферометра, а поверхность детали, на которую наносится пленка, расположена в совмещенной фокальной плоскости объективов.
На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого интерферометра.
Интерферометр содержит осветительиую систему, состоящую из монохроматического источника света / (например, оптического квантового генератора), линзы 2, точечной диафрагмы 3 и объектива 4, призменный блок 5, состоящий из двух склеенных призм, объективы 6 7 эталонной и рабочей ветвей; экран регистрирующий узел, состоящий из объектипа Я диафрагмы 10 и фотоэлемента (или ФЭУ) //.
Рабочая ветвь интерферометра состоит из параллелограммной призмы блока 5, объектина 7 и небольшого участка детали /2 (точка /у), на которой наносится пленка.
Эталонная ветвь включает в себя прямоугольую нризму блока 5, объектив 6 и участок детали 12 (точка /б), свободный от наносимой пленки благодаря действию экрана 8.
Работает предлагаемый интерферометр следующнм образом.
При отсутствии наносимой пленки оптические мути в эталонной и рабочей ветвях постояины, и в плоскости фотоэлемента II возникает иитерфере1щионная картииа в виде колец. При нанесении пленки в точке /у происходит изменение разности хода в ветвях интерферометра, что вызывает изменение освещенности в центре интерференционной картины. При измене П1и расстояния вдоль оси между когерентными источниками, расположенными
вблизи заднего фокуса объектива 9, на величину 0,5 Л (л - длина волны света, используемого в иитерферометре), освещенность в центре интерференциоиной картины изменится на противоположную, т. е. темное нятно будет
