ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ЗЕРКАЛО Советский патент 1971 года по МПК H01S3/08 

Изобретение относится к устройствам для резонаторов оптических квантовых генераторов.

Известны зеркала, диэлектрические покрытия которых оптической толщиной, кратной Х/4 нанесены химическим методом из растворов Ti(OC2H5)4 и Si(OC2H5)4. Однако изготовленные этим способом покрытия имеют низкие пороги разрушения: порядка 500- 800 дж/см в режиме свободной генерации.

Цель изобретения состоит в получении высокоотражающих покрытий для различных участков спектра, устойчивость которых на порядок выше, чем у известных.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что слои с высоким показателем преломления нанесены из смесей окислов, таких как TiO2-НЮг, Ti02-ThO2, ThOa-ПЮг, причем каждый слой оптической толщиной ./4 наносится в несколько нриемов из тонких слоев.

Многослойные отражающие покрытия изготавливают следующим образом.

Слои с высоким показателем преломления наносят из смеси растворов малых концентраций этиловых эфиров, солей и других соединений в этиловом спирте, например, 3%

Ti(OC2H5)4 + 0,5% NTh(N03)., + 7% НЮС12+ 4-0,5% NTh(NO3)4 и др. и прогревают при 400°С в течение 0,5-1 час.

Слои с низким показателем наносят из растворов этилового эфира кремневой кислоты малых концентраций, например 4% Si(OC2H5)4 с последующим прогревом при 500°С в течение 0,5-1 час.

Описываемое зеркало образовано слоями диэлектриков с высоким показателем преломления более мелкозернистой и монолитной структуры, чем известные, в результате чего на порядок повыщепы пороги разрущения покрытий - примерно 10000 дж/см в режиме свободной генерацпи.

Предмет изобретения

Интерференционное зеркало, состоящее из чередующихся слоев диэлектриков с высоким и низким показателями преломления, отличающееся тем, что, с целью повышения устойчивости зеркала к излучению оптического квантового генератора, слои с высоким показателем преломления нанесены из смесей окислов, например TiO2-ThO TiOo-HfO), Th02-HfO2.