СПОСОБ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ МЕЛКОДИСПЕРСНЫХМАТЕРИАЛОВ Советский патент 1971 года по МПК B65G27/04 

Изобретение относится к вибрационному транспортированию мелкодисперсных материалов в вакууме при изготовлении тонкопленочных электронных микросхем методом вакуумного напыления.

Известны способы транспортирования мелкодисперсных материалов путем сообщения грузонесущему органу конвейера направленных колебаний низкой частоты. Однако известный способ характеризуется недостаточной стабильностью подачи вызванной налиланием материала на грузонесущем органе ввиду высоких коэффициентов трения покоя при транспортировании материала в вакууме.

Особенность предлагаемого способа состоит в том, что одновременно с колебаниями низкой частоты грузонесущему органу сообщают колебания ультразвуковой частоты.

Это позволяет устранить налипание материала на грузонесущем органе при транспортировании материала в вакууме.

Предлагаемый способ обеспечивается двухчастотным законом колебания грузонесущего органа. Накладывание колебаний ультразвуковой частоты на колебания низкой частоты позволяет получить высокие значения ускорений при небольщих амплитудах, что создает устойчивое вибрационное перемещение мелкодисперсных материалов в вакууме, ликвидируя налипание материала на грузонесущем органе.

Предмет изобретения

Способ транспортирования мелкодисперсных материалов путем сообщения грузонесущему органу конвейера направленных колебаний низкой частоты, отличающийся тем, что, с целью устранения налипания материала на грузонесущем органе при транспортировании материала в вакууме, грузонесущему органу сообщают одновременно с колебаниями низкой частоты колебания ультразвуковой частоты.