СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БИМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕКТРОДОВ МОЩНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1971 года по МПК H01J9/04 

Изобретение относится к электроиной промышленности и используется при производстве пролетных труб, ламелей, .коллекторов, аиодов, особенно для мощных приборов типа «О, типа «М, модуляторных ламл, рентгеновских трубок.

Известен способ изготовления биметаллических электродов (ламелей) ЭВП, основанный на диффузионной сварке молибдена с медью. Для этого молибден соединяют с -медью через промежуточный слой никеля, который наносится на поверхность молибдена гальваа1ическим методом. Подготовленную таким образом молибденовую полосу прижимают поверхностью, покрытой никелем, к медной заготовке И производят диффузионную сварку при температуре около 800°С. Однако прочность соединений, полученных этим способом, не обеспечивает надежную работу таких ламелей, так как они не выдерживают термоциклических нагрузок, имеющих место в условиях технологического цикла изготовления приборов (пайка, откачка, динамические испытания) и в процессе работы. Неудовлетворительная прочность соединений при воздействии зна.копеременных нагрузок, например при нагревах, объясняется тем, что из-за различия коэффициентов термического расширения молибдена и меди в соединениях, выполненных диффузионной сваркой, возникают

напряжения, которые и .приводят к отслаиванию молибдена от меди. Кроме того, между соединяемыми поверхностями имеют место непровары (пустоты), которые тякже являются своеобразными жонцентратарами напряжений.

Для создания такого способа изготовления биметаллических электродов (Мо-Си, W-Си, Та-Си -и т. п.) мощных ЭВП, при котором

достигается высокая прочность соединения тугоплавких .металлов с медью при рабочей температуре 900-950°С, а также сни}кения напряжения на границе между соединяемыми материалами, соединение тугоплавких металлов с медью осуществляют диффузионной пайкой через промежуточные металлы никель и золото или никель и марганец, которые в виде слоев наносятся на тугоплавкий металл последовательно-сначала никель, затем золото или марганец. При этом отношение толщины слоя никеля к толщине слоя золота ила марганца должно лежать в пределах 0,,6, 3 суммарная толщина слоев должна быть от 15 до 35 .-к/с. Выбор в качестве .промежуточных металлов пар Ni-Аи и Ni-Мп основан на том, что эти элементы в сочетании с медью образуют тройные системы с непрерывной растворимостью в твердом и ж идком состоянии, причем для этих систем характерным яв