УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к оборудованию полупроводникового производства, в частности к установкам для совмещения рисунка на подложке с рисунком на фотошаблоне и экспонирования при фотолитографии.

Известны установки для совмещения и зкспонирования, содержащие устройство для совмещения, оптическую систему для визуального контроля совмещения, источник света для экспонирования. Эти установки при использовании их для совмещения рисунков, имеющих элементы размером несколько микрон, не обеспечивают точной и постоянной величины микрозазора между подложкой п фотощаблоном, в частности, из-за перемещения подложки в вертикальной плоскости пневмоприводом.

Целью изобретения является создание установки для совмещения и экспонирования, обеспечивающей более высокую точность установки микрозазора между подложкой и фотошаблоном.

Цель достигается тем, что привод манипулятора для точного вертикального перемещения подложки выполнен в виде электромагнита и двух независимых шарнирно установленных на оси рычагов. Один из рычагов верхним плечом находится в постоянном контакте с нижней клиновой направляющей, а нижним плечом, являющимся якорем электромагнита.

связан с другим рычагом, обеспечивающим точное перемещение нижней клиновой направляющей. На чертел е изображено предлагаемое устройство для совмещения и экспонирования.

Устройство состоит из оптического устройства /, источника света 2, корпуса 3 с фотощаблоном 4, стола 5 со сферической опорой для размещения подложки 6, снабженного

манипулятором 7 с кЛ П10вой направляющей 8 вертикального перемещения п клиновой направляющей 9 горизонтального перемещения подложки. Направляющие скреплены между собой пружиной 10.

Привод перемещения клиновой направляющей 9 состоит из рычага // независимого перемещения, рычага 12, прижатого пружиной 13 к клпновой направляюп ей 9, и рычага 14 с электромагнитом 15, снабженным тумблером 16. Рычаг 14 перемещаться от кулачка 17.

Подлол ка 6 располагается на столе 5, а фотошаблон 4 закрепляется в корпусе 3. Затем рычаг // отводнтся, н клиновая направляющая 9 перемещается в горизонтальной плоскости при помощп пружины 10, поднимая клиновую направляющую 8, которая прилгимает подлол ку 6 к фотощаблону 4. После прижима подложки рычаг 12 останавливает