КАССЕТА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Советский патент 1972 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых приборов, в частности для химической обработки кремниевых или германиевых пластин.

Известны кассеты для химической обработки полупроводниковых лла-стин, выполненные в виде параллелепипедов с пазами для вертикального или радиального расположения пластин.

Недостатком этих кассет является неподвижность располагаемых в их пазах .пластин, в связи с чем травление происходит неравномерно.

Предложенная кассета позволяет повысить качество обработки пластин. Она отличается тем, что снабжена шарнирно укрепленными в ее пазах ячейками, совершающими при ее возвратно-поступательных движениях колебательные движения. Благодаря этому расположенные в ячейках пластины непрерывно меняют свой угол относительно кассеты.

На фиг. 1 представлен общий вид кассеты; на фиг. 2 - конструкция кассеты; на фиг. 3- ячейка кассеты.

тель 5, укрепленный, как и ванна 5, на основании 6. При взаимодействии кулачка 7 и штока с пружиной 8 кассета совершает возвратно-поступательные движения. При этом ячейкам 9 под действием сил инерции и сопротивления жидкости сообщаются колебательные движения, обеспечивающие интенсивное перемещивание травильного раствора и, следовательно, равномерное травление пластин.

Кассета (фиг. 2) выполнена из нескольких коррозионноустойчивых к агрессивной среде полос 10, соединенных шпильками 11. На концы шпилек надеты шкивы 12. В полосах имеются пазы 13, S которых шарнирно укреплены ячейки 14, выполненные по образующей конуса, с делью размещения в них пластин любой формы. Ячейки 14 (фиг. 3) сделаны из

брусоЧКОВ фторопласта 15 с пазами 16 и обжимами 17 с приваренными полуосями 18.

В полосах имеются также отверстия 19 (см. фиг. 2), благодаря которым в кассете осуществляется свободное перемещение травильного раствора. Ванна снабжена сосудом Предмет изобретения Кассета для химической обработки полупроводниковых пластин, выполненная в виде параллелепипеда с пазами на боковых сторо- 5 нах, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки пластин, она снабжена шарнирно укрепленными в пазах боковых сторон ячейками, которые при ее возвратно-поступательных движениях совершают колебательные движения.

319 /V

Юf2

Цр

4F

/J

иг г

иг. /

Риг. 3