ПРОЕКЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО Советский патент 1972 года по МПК G03F7/207 H05K3/06 

Устройство предназначено ДЛй использования в радиопромышленности, электронной промышленности, например, для изготовления шаблонов интепральных схем.

Известно проекционное устройство, содержаш,ее координатный стол, оптическую систему и механизм упра-влевия перемещением стола.I

С целью повышения резкости изображения при экспонировании .пластинки, в предлагаемом устройстве объектив фотоголов;ки расположен в обойме, опи.раюш,ейся через элементы .качения, например ролики., на -поверхность фотослоя пластинк1и.

На чертеже изображена схема устройства.

Устройство содержит фотоголовку 1 с объективом 2, расположенным в обойме 3, которая через элементы качения, .например ролики 4, опирается на поверхность фотослоя пластинки 5. I i

Фотоголовка / и обойма 5 закреплены на подвижной в вертикальной плоскости плите. Пр№ помощи тросиковой -передачи 6 и заводной пружины ,7 плита с фотоголовкой разгружена от собственной тяжести таким образом, что остаточная наг рузка IB нижнем положении не превышает 100 г. Для подъема и опускания плиты служит электродвигатель 8, управляемый по программе.

В рабочем режиме плита находится ,в Нйж-нем положении, и ролики катятся ло поверхности фотослоя фотопластинки 5. Благодаря механическому контакту, который поддерживается силой остаточной тяжести плиты и фотоголовки, расстояние от объектива да плоскости экспонирования постоянно, что обеспечивает ширину лииим и резкость изображения в необходи.мых допусках.

При холостых ходах плита с фотоголовкой находится в верхнем положении, и ролико-вая опора не касается фотослоя. В зависимости от направления движения роликовая опора может быть развернута вокруг вертикальной оси таким образом, чтобы оси роликов были перпендикулярны направлению движения и ролики катились по поверхности фотослоя без проскальзывания. Разворот опоры осуществляется электродвигателем 9 по программе-.. Углы поворота настраиваются конечными выключателями /и и 11.

Предмет изобретения

Проекционное устройство, .например, для изготовления шаблонов интегральных схем, состоящее из фотоголовки, координатного стола с закрепленной на |нем пластинкой и механизма подъема и опускания фотоголовки,. 3 отличающееся тем, что, с целью повышения pesiKOCTH изображения при экспонировании пластинки, объектив фотоголовки расположен ,. - 4 в обойме, опирающейся через элементы качёния, .например ролики, на поверхность фотослоя пластинки.