Изобретение относится к устройствам, предназначенным для совмещения рисунков на фотошаблоне и полупроводниковой пластине в процессе ее фотолитографической обработки и может быть применено при изготовлении интегральных твердых и пленочных пассивных схем.
Известные устройства для совмещения рисунков состоят из гнезда, подвещенного на двух пружинных шарнирах, установленного в гнезде шарового сегмента с закрепленной на нем с помощью вакуу.много отсоса полупроводниковой пластины, расположенного над пластиной фотошаблона, укрепленного с помощью вакуумного отсоса на координатноповоротном столе, имеющем три степени свободы.
Для осуществления выравнивания пластины о фотошаблон производят подъем гнезда с по.мощью подъемного штока, имеющего мембранный привод.
Гнездо фиксируется в крайнем положении фиксатором с мембранным приводом. Гнездо, подвешенное на двух эластичных пружинах в корпусе, образует подвижной параллелограмм.
Для облегчения операции выравнивания - уменьшения трения между гнездом и шаровым сегментом - последний поддувают снизу сжатым воздухом.
подвески в таких устройствах нарушается точность совмещения рисунков после устранения рабочего зазора. Цель изобретения - сохранение точности
совмещения рисунков после устранения рабочего зазора и обеспечение повторяемости установки пластин.
Это достигается тем, что устройство снабжено установленной между фотошаблоном и
шаровым сегментом промежуточной опорой, выполненной в виде плоской эластичной подвески, причем плоскость промежуточной опоры, обращенная к фотошаблону, служит для установки полупроводниковой пластины, а
плоскость, обрашенная к шаровому сегменту, контактирует с ни.м при подключении выводных каналов сегмента к вакуумной линии.
Расположение пластины на промежуточной опоре, подвешенной на консольной плоской
пружине, обладающей значительной поперечной устойчивостью, исключает смещение пластин в горизонтальной плоскости при поддуве шарового сегмента.
После соединения шарового сегмента и опоры с вакуумной магистралью в момент устранения рабочего зазора опора с плоской пружинок приобретает жесткость балки.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для контактной фотолитографии на полупроводниковой пластине с базовым срезом | 2018 |
|
RU2674405C1 |
| УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКА Фо|с1Щ^ЛрНА '• I С РИСУНКОМ подложки ПРИ КОНТАКТНОЙ ФОТОПЕЧ/СТЙ-^ | 1967 |
|
SU190210A1 |
| Устройство для совмещения фотошаблона с подложкой | 1982 |
|
SU1053188A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКОВ ПОДЛОЖКИ С РИСУНКАМИ ФОТОШАБЛОНОВ | 1971 |
|
SU414142A1 |
| ВСЕСОЮЗНАЯ | 1973 |
|
SU372859A1 |
| МИКРОМАНИПУЛЯТОРЕ?СЕООЮ'^Н'*Я пйтг"'':;и..г'"'^''- ;•'•••