Способ получения селеновых электрофотографических слоев Советский патент 1979 года по МПК G03G5/08 

Изобретение относится к способам получения покрытий путем вакуумного напыления, в частности к способам получения селеновых электрофотографических слоев.

Известен способ получения селеновых электрофотографических слоев путем вакуумного напыления. Однако проведение процесса в стационарном режиме по известному способу не обеспечивает получения оптимальных значений эксплуатационных параметров слоя.

Предлагаемый способ позволяет улучшить параметры селеновых электрофотографических слоев, а именно снижает эффекты усталости и световой памяти в слоях, а также увеличивает их тиражеустойчивость. Это достигается тем, что в процессе напыления увеличивают температуру подложки от 20 до 50°С со средней скоростью 0,5-0,9 град/мин при изменении давления остаточных газов в пределах от до 2-10 тор с градиентом 1-10-4 тор/мин и скорости конденсации в пределах 0,2-1,5 мкм/мин с градиентом 0,1 - 1 мкм/мин. Получаемые слои имеют

следующие усредненные характеристики: толщина слоя - 32 мкм, потенциал начальный- 1100 В, время темнового полуспада потенциала - 1 мин, утоляемость ±6%, светочувствительность - 0,06 (лк. сек)-1. Разброс параметров при определении указанных характеристик слоев не превышает 20%.

Формула изобретения

Способ получения селеновых электрофотографических слоев путем вакуумного напыления, отличающийся тем, что, с

целью снижения эффектов усталости и световой памяти в слоях, а также увеличения их тиражеустойчивостп, в процессе напыления увеличивают температуру подложки от 20 до 50°С со средней скоростью 0,5-

0,9 град/мин при изменении давления остаточных газов в пределах от 3-10- до тор с градиентом 1-10 -1-10- тор/мин и скорости конденсации в пределах 0,2-1,5 мкм/мин с градиентом 0,1 -

1 мкм/мин.