УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая шлюзовые камеры, соединенные с вакуумной камерой, внутри которой расположены испаритель, манипулятор с нагревателем и кассетами, кассетоприемник, расположенную снаружи вакуумной камеры магнитную систему и пульт управления.

Однако в известной установке невоз.можно осуществить магнитный отжиг пленок непосредственно после их осаждения.

Цель изобретения - создание такой установки, в которой возможно было бы осуществить магнитный отжиг пленок после их осаждения.

Это достигается наличием расположенного внутри вакуумной камеры между манипулятором и кассетоприемником термического блока с ячейками для кассет и с раздельно регулируемыми системами нагрева и о.хлаждения.

На чертеже изображена установка, общий вид.

Установка состоит из шлюзовых камер /, соединенных с вакуумной камерой 2, внутри которой расположены испаритель 3, манипулятор 4 с нагревателем 5 и кассетами 6, кассетоприемника 7, расположенной снаружи вакуумной камеры / магнитной системы 8 в виде катушек Гельмгольца, пульта 9 управления и расположенного внутри вакуумной камеры } между манипулятором 4 и кассетоприемником 7 термического блока 10 с ячейками для

кассет и с раздельно регулируемыми системами нагрева П и охлаждения 12.

Очищенные подложки закладывают в кассеты 6 с масками требуемой конфигурации, далее через шлюзовую камеру / вводят в вакуумную ка.меру 2 и помещают в манипулятор 4. Затем воздух из камеры откачивают до давления около мм рт. ст., а манипулятор с подложками прогревают до требуемой температуры (280-350°С) и после контроля

скорости испарения происходит конденсация пленок на подложки, поочередно перемещаемые в кассетах из манипулятора 4 в термический блок lOj предварительно нагретый до требуемой температуры отжига, где они выдерживаются при заданной температуре в течении требуемого промежутка времени в присутствии ориентирующего магнитного поля. После этого нагревательную систему отключают и включают систему 12 принудительного охлаждения. Термический блок 10 быстро охлаждается и магнитный отжиг на этом заканчивается. Далее подложки с пленками из охлажденного термического блока 10 поочередно перемещают в кассетоприемник 7 и чеПредмет изобретения

Установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая шлюзовые камеры, соединенные с вакуумной камерой, внутри которой расположены испаритель, манипулятор с нагревателем и кассетами, кассетоприемник, расположенную снаружи вакуумной камеры магнитную систему и пульт управления, отличающаяся тем, что, с целью осуществления магнитного отжига пленок после их осаждения, установка снабжена расположенным внутри вакуумной камеры между манипулятором и кассетонриемником термическим блоком с ячейками для кассет и с раздельно регулируемыми системами нагрева и охлаждения.