СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПУТЕМ ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕйли^^.^^-- ':?rV',' b^i^v^^*'^]::'^;-. Советский патент 1972 года по МПК C23C14/26 

Изобретение относится к области нанесения покрытий путем испарения материалов в вакууме, в частности к способам нанесения покрытий на выпуклые поверхности сферических и полусферических деталей.

Известен способ нанесения покрытий путем испарения в вакууме на вращагоищеся сферические поверхности. Однако этот способ связа; с целым рядом технологических и конструктивных трудностей.

Предлагаемый способ повышает равномерность наносимых покрытий. Это достигается тем, что источник испарения располагают от нормали, проходящей через его центр, на расстоянии, равном 2-2,5 диаметра сферы (полусферы), от оси, параллельной нормали и проходящей через центр сферы (полусферы) в точ.ке, удаленной на 2,5-3 диаметра от центра сферы (полусферы), и процесс ведут при вращении полусферы вокруг оси параллельной нормали, а сферы - вокруг двух взаимно перпендикулярных осей, одна из которых параллельна нормали.

Равномерные покрытия на сферических или полусферических поверхностях получают путем испарения материалов в вакууме при расположении источника испарения на нормали, проходящей через его центр на расстоянии, равном 2-2,5 диаметра сферы (полусферы).

от оси, параллельной нормали и проходящей через центр сферы (полусферы) в точке, удаленной на 2,5-3 диаметра от центра покрываемой сферы (полусферы), при вращении последней, причем, полус(|)еру вращают вокруг оси, параллельной иормали, и сферу вокруг двух взаимно перпендикулярных осей, одна 1з которых параллельна нормали.

При осуществлении способа может быть использован любой тип испарительного устройства. Полусферу располагают так, чтобы ось, проходящая через центр полусферы и ее вершину, была параллельна нормали к поверхпостному источнику испарения. Центр источника испарения располагают на расстоянии от указанной оси, равном 2-2,5 диаметра и расстояние / 2,5-3 диаметра от центра сферы. Полусферу вращают вокруг оси, проходяще

через ее центр вершину. Для напыления покрытий на сферу расположен 1е источника испарения не изменяют, но в процессе наиылеиия сферу вращают вокруг еще одной помимо вышеуказанной для вращения полусферы, дополнительной оси, лежащей в плоскости, перпендикулярной нормали к поверхностпому источнику. 3 Предмет изобретения Способ получения покрытий путем испареНИИ в вакууме на вращающихся сферических или полусферических выпуклых поверхностях, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытий, источник испарения располагают .на нормали, проходящей через его центр, на расстоянии, ра.вном 2-2,5 диа4метра сферы (.полусферы), от оси, параллельной нормали и проходящей через центр сферы (полусферы) в точке, удаленной на 2,5-3 диаметра от центра сферы (полусферы), и процесс осуществляют при полусферы вокруг оси параллельной нормали, а сферы -вокруг двух взаимно перпендикулярных осей, .одна из которых параллельна нормали.