ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/04 

Изобретение относится к установкам, предиазиачениыы для нанееення иокрытий в вакууме иа иодложки, наиример, из стекла.

Известны вакуумные установки для иаиесення иокрытий на подложки, еодержаи 1ие разъемную вакуумную камеру, онраву для креиления иодложки, дисковый иснарнтель, гакраннрующее устройство с поворотными леиестка.ми, укрепленными иа кроиштейиах иоворотного на рол1и а.х кольца, и И:меются THI-;же контактное устройство, вакуумные насоеы, нриводы, силовые двигатели, контрольно-измерительная аппаратура.

Недостатком известных установок является невозможность одновременного нанесения покрытия на подложки разных размеров. Кроме того, привод контактного устройства не обеенечивает плавного вращения, а экранирующее устройство нмеет недостаточно надежный механизм новорота его леиестков, что не нозволяет нолучить высококачественное покрытие.

В предлагаемой установке контакгное устройство снабжено волновым редуктором, содержан1,пм генератор волн, зубчатую шестерню п гибкий элемепт, служап1.нй одновременно уплотнением прп передаче вращеппя ог силового двигателя.

его oKpyH-iiiOCTii noBojioTiiiiiMn рычагал1и-держа1еля.мп подложек.

Э1{ранируюн1,ее ycTpoiiciBO снабжено тягами, {11ие.мат1 чееки связыва1опи1мн экран фуюп ие ленесткп с опорными юликами поворотHOI-0 от силового двигателя кольца, на котором лепестки смоигироваш.

Иа фиг. 1 изображена иакуумпая установка, вид; на ()иг. 2 - коигактное устройегво; иа фи. 3 - онрава для крепления подложек, в плане; Jia фиг. 4 - экранирующее ycrpoiicTBO, в плане.

Ьакуумиая усгановка сосгоиг из поворотHoii верхиеГ ка.меры / и иеиодвижно нижней камеры 2. На опоре 3 иижней камеры с.монтирован гидроцилиидр 4, шток 5 которого через ось 6 связан с кронштейном 7 вер.хней камеры, поворач11ваюп1ейся вокруг оси 8. В нижнс камере на валу J рогора вращающегося коитакгного ycTpoiicTBa 10 }креилен дпсковый испаритель /У. Иа i opnyce контактного уст зо1гетва укреплены во.пювой 1едуктор -, состоянии из гсператора волн 13, зубчатой HiecTepHii 1-1, гибкого элеме гга /5. ВолnoBoii редуктор обеспечивает плавное пз.меиепие числа оборотов и вращает дисковый пснаритель через зубчагое колесо 16, укрепленное на валу ротора контактного устройства.

пОьТоженпыми по окружности рычагами-держателями 19, поворачивающимися на осях 20. Один коиец рычага осью 21 соедине с тягой 22 для установки по размеру иодложкн; другой конец соединен осью 23 с башмаком 24, предназначенным для размещения контрольных свидетелей.

Экранирующее устройство 25 состоит из расположенных по окружности лепестков 26, оси 27 которых прикреплены к кронштейнам 28 новоротного кольца 29. Последнее опираегся на ролики 30, находящиеся в кроищтей нах 3J нижней камеры.

Каждый ролик через укрепленный и,а крыщке 32 штырь со сферической головкой 33 соединен тягой 34 со штырем 35 лепестка. Ролик с номоилью вилки 36 находится в зацеплении с поводком 37 новоротпого кольца, связанного рычагом 38 с гидроприводом 39.

Установка снабжена гндронасосом, расположенным в гидробаке 40, а также вакуумнасосами 41.

Установка работает еледуюшим образом.

Гидроцилиндром 4 поворачивают верхнюю камеру / и загружают дисковый испаритель 1J иснаряемым веществом. Тягой 22 рычагидержатели 19 оправы 17 устанавливают по размеру подложки. Последнне фиксируются на башмаках 24 накладками 42. Верхнюю камеру / возвращают в исходное положение, закрывают и герметизируют камеру HHiypaми 43. Приводят во вращение дисковый испаритель 11, к которому через контактное устройство 10 подается электрический ток. Во время разогрева нспаряемого вещества лепестки 26 экранирующего устройства 25 опущены для предохранения поверхноетн подложки от нонадания испаряемого вещества до начала возгонки.

Во вре.мя нанесення покрытия лепестки должны быть подняты. Для этого гидропривод 39 воздейетвует на рычаг 38, заетавляющий кольцо 29 иовернуться на заданный угол.

Кольцо вращает ролик 30, который посредством тяги 34 заставляет лепесток подняться. Прн изменении направлепия подачи рабочей жидкоетп в гид)О11ривод 39 леиестки 26 оиускаются.

1 п е д м с т и 3 о б р е т е и н я

1. Вакуу.мпая установка для нанесения нокрытий на подложку, например, из стекла, содержащая разъемные верхнюю п нижнюю камеры, оправу для крепления ноддожки, дисковый иснарптель, экранирующее уетройетво е поворотными ленеетками, укреилеиными на кронштейнах поворотного на ролпках кольца, контактное устройство, вакуу. насосы, нривод, силовые двигатели и контрольно-измерительную аннаратуру, отличающаяся тем, что, с целью новыщения качества покрытия и надежности работы экранирующего устр(л ства, лепестки последнего кинематически связаны с номондью тяг с онорпымн роликами новоротного кольца.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью одновременного нанесения покрытпя на подложки разных размеров, онрава для креп.теиия иодложек состоит из кольца с равномерно расположенны.ми ио его окружиости новоротными рычагами-держателями.

3. Устаиовка ио и. 1, отличающаяся тем, что, с целью вращения контактно1о устройства, на корнусе носледнего смонтирован волновой редуктор, еодержангнй генератор волн,

зубчатую шестерню н гнбкпй элемепт.

////////Л

А А

if -23

20

24

йлг, ч