УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1973 года по МПК C23C14/26 

1

Изобретение относится к установкам для изготовления астрономических зеркал.

Известна установка для нанесения покрытий на подложку, содержащая камеру, основание, диск испарителей, вакуумные насосы, контролирующую и измерительную аппаратуру.

Целью изобретения является получение покрытий на крупногабаритных подложках разных профилей.

Это достигается тем, что диск испарителей установлен на байонетной опоре с юстировочным механизмом, а камера снабжена кольцеобразной трубкой из вакуумной резины, соединенной с устройством для подачи воздуха.

Иа фиг. 1 изображена описываемая установка в сборе, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид в нлане; на фиг. 3 - камера вакуумной установки; на фиг. 4 - диск испарителей, па фиг. 5 - технологическое основание.

Установка содержит вакуумную камеру /, в которой происходит рабочий процесс нанесения нокрытия, диск испарителей 2, основание 3, предназначенное для размещения на нем зеркал с размерами меньшими 6050 мм. Кроме того, имеются вакуумные насосы 4, два из которых служат для создания нредварительного разряжения (форвакуума) в камере, а два других - для работы с вакуумными агрегатами 5, предназначенными для создания

разрежения в камере. В качестве коммуникаций 6 могут быть коллекторы, клапаны, трубы, воздухопровод и т. д.

Вакуумная установка неподвил но смонтирована на железобетонном кольце 7 в здании.

Камера вакуумной установки представляет собой цельносварную оболочку, выполненную в виде сочетания цилиндрической 8, конической 9 и сферической 10 поверхностей, скрепленных для создания л есткости и устойчивости кольцевыми шнангоутами и стрингерами. Роль шпангоутов вынолняют кольца 11 из фасонных труб, оноясывающие камеру, а стрингеров - шесть ламп 12 арочного типа, которыми камера опирается на железобетонное кольцо. Сферическая обечайка камеры имеет люк 13, служащий для поставки испарительного диска.

К конической части камеры приварены восемь патрубков с фланцами 14, к которым подсоединяются высоковакуумные агрегаты, создающие разрежение в вакуумной установке порядка (1+5) мм рт. ст. На цилиндрической части камеры предусмотрено кольцевое резиновое уплотнение 15, позволяющее при нанесении нокрытия на зеркало диаметром 6050 мм разделять объем, загрязненный смазкой и разного рода включениями, от объема, в котором производится покрытие. Объемы герметизируют по периферии зеркала поддуBOM уплотнителя сжатым воздухом. В опорном кольце 16 камеры имеются две кольцевые проточки под уплотнительные шнуры 17 и 18, при помощи которых уплотняют камеру с осиовапием или оправой зеркала.

Для совмещения основания или оправы зеркала в вакуумной камере в диаметрально противоположных плоскостях предусмотрены четыре упорных винта 19, размещенных в кронщтейнах 20. Ориентирами для регулирования служат четыре направляющих штыря 21, ввернутые в опорное кольцо камеры. Камера скрепляется с основанием болтами 22.

Для нанесения отражающих покрытий и размещения испаряемого материала предусмотрен диск испарителей, который подвешен на байонетной опоре 23 в сферической части вакуумной камеры. Испаряемый материал крепится в нигкней части испарителя на специальных столбиках 24 по трем концентрическим окружностям 25. В верхней части диска имеется три регулировочных винта 26, фиксируемых гайками и предназначенных для юстировки испарителя. На испарителе предусмотрены три экрана 27, служащих для защиты поверхностей, не подлежащих покрытию испаряемыми веществами. В этих экранах выполнены три вертикальных паза, необходимых для регулировки их.

Основание по форме представляет часть сферы, в частности шаровой сегмент. В верхней части имеется опорное кольцо 28, соприкасающееся при стыковке с кольцом камеры. Опорное кольцо основания имеет отверстия под крепежные болты и направляющие штыри. В верхней части основания расположена кольцевая площадка 29, предназначенная для установки зеркал и установленная на обечайку 30, которая приварена к внутренней поверхности сферической оболочки 31. Для больщей жесткости основания предусмотрены радиальные ребра 32, замыкающиеся в центре на трубе 33. В нижней части к оболочке приварены четыре бабышки 34 и три бобышки 35. К бобышкам 34 с помощью болтов крепятся четыре подвески с колесами, служащие для транспортирования основания по рельсам. К бобышкам 35 фиксируются штифтами и крепятся болтами

три вертикальных штыря 36. Основание и оправа зеркала поднимаются и опускаются домкратами, имеющими идентично расположенные со штырями гнезда. При работе домкраты подпирают штыри, воздействуя таким образом на основание.

В состав коммуникаций установки входят коллекторы (левый 37 и правый 38}, трубы байпаса (левого 39 и правого 40), выхлопные коллекторы 41 и 42, восемь стояков 43 с вакуумными клапанами и выхлопные трубы 44 и 45. К коллекторам присоединены соответственно трубы 46 и 47. Каждый из этих коллекторов через стояки объединяет четыре вакуумных

агрегата. На трубе правого байпаса 40 имеется патрубок, к которому крепится вакуумный клапан с воздушным фильтром 48, служащий для запуска очищенного воздуха из атмосферы в вакуумную установку но окончании процесса нанесения покрытий.

Установка работает следующим образом. Диск испарителей 2 загружают веществом. Изделие, подлежащее покрытию, устанавливают в камеру / либо в оправу или на технологическое основание 3. Домкратами через направляющие штыри 21 основание с изделием поднимают до соприкосновения с опорным кольцом 16 камеры и скрепляют с основанием болтами 22. Герметизация объема достигается

с помощью уплотнительных шнуров 17 и 18.

И р е д м е т изобретения

1. Установка для нанесения нокрытий на нодложку, например, из стекла, содержащая камеру, основание, диск испарителей, вакуумные насосы, контролирующую и измерительную аппаратуру, отличающаяся тем, что, с

целью получения покрытий на крупногабаритных подложках разных профилей, диск испарителей установлен на байонетной опоре с юстировочным механизмом. 2. Установка по п. 1, отличающаяся тем,

что, с целью создания герметичности, камера снабжена кольцеобразной трубкой из вакуумной резины, соединенной с устройством для нодачи воздуха.

Ш

Фиг.З

3

55 J/ SO 29

2&

...„-ДД-J

Г

35

Фиг. 5