ЭНАЯ ^——•— -^^'П>&й^1Л;:[^Ч?2!1[лЯ(.^,«nf:лис ГЕНА 1 Советский патент 1971 года по МПК C03C17/09 C03C17/00 C23C14/26 

Изобретение относится к области вакуумных установок и может быть иснользовано при изготовлении крупногабаритных астрофизических зеркал и т, п.

Известна установка для вакуумного налыления покрытий на подложку, например, из стекла, содержащая камеру, приспособление для кренления подложки, диск с испарителями, контактное устройство.

Целью изобретения является нанесение нокрытий на подложку больши.х размеров. Достигается это тем, что диск с испарителя.ми установлен с возможностью вращения от гидропривода с номощью кривого вала, помещенного в уплотнительную трубку. Контактное устройство установки может быть выполнено в виде ротора и корпуса со щеткодержагсля.ми. Кро.(( гого, 71ЛЯ нанесения jiOKj)brriii i на обе стороны подложки приспособление для крепления подложки может быть сделано в виде оправы, установленной с возможностью поворота.

На фиг. 1 показана вакуумная установка в разрезе; на фиг. 2 - механизм привода с диском испарителей; на фиг. 3 - вращаюн1,ееся контактное устройство; на фиг. 4 - гидронасос с электродвигателем; на фиг. 5 - оправа для размещения изделий.

рых осуществляется резиновыми шнурами 3. На камере предусмотрена траверса 4 для подъема камеры в момент загрузки изделия. Внутри камеры имеются кронштейны 5 для установки системы осветителя 6, предназначенного для создания нанравленного пучка света. Проходя через изделие, пучок света воспринимается приемно-регистрируюн1;ей частью 7, чем и осуществляется контроль за толщиной наносимого покр1з1тия. В диске S испарителей, расположенном на центральном валу 9 .механизма 10 вращения, испаряемый материал помещен на специальных лодочка.ч, спиралях и т. д., закрепленных на столбиках //.

BpaHienne диска нспарителей осуществляется через зубчатую пару 12 и кривой вал 13 гидроприводом, включаюн1им в себя ги.т,ро.мотор 4, систе.мы трубопроводов и гидронасос /5 с электродвигателем 16. В качестве уплотнения при передаче вращепия в вакуума используется кривой вал 13, сосгояН1ИЙ из корпуса /7, валика 18, уплотнительной резины 19 II подшипников 20.

Передача электроэпергии на диск испарителей осуществляется враи1аюи1нмся контактным }ттройством 21, выполненным в виде ротора 22 и неподвижного корпуса 23 с расположенными на нем щеткодержателями 24. Ротор включает в себя пять контактных

групп 25, разделенных изоляционными дисками 26 и вращается вместе с диском испарителей. Подача электроэнергии на щеткодержатели производится по щинам 27 от токовводов 28, расположенных в основании камеры. Механизм вращения и контактное устройство крепится в основании камеры к фланцу 29.

Изделия устанавливаются либо на кольцо 30, которое через штанги 31 опирается на кронштейны 32 основания камеры, либо на оправу 33 с вращающимся кольцом 34, установленным в цапфах 35. Для стопорения кольца в рабочем положении предусмотрены упорные винты 36. Закрепление изделия в оправе производится ceKTOpajMH 37. Для предохранения поверхности изделия от сколов нредусмотрены амортизирующие нрокладки 55. Создание необходимого разрежения в камере осуществляется с помощью вакуумных насосов и агрегатов, подсоединяемых к патрубкам 39.

Описанная установка работает следуюншм образом.

Из7;елие, подлежащее покрытию, помещается внутри камеры па опорное КОЛЩО или оправу. Испаряемое вещество закрепляется на столбиках диска испарителей. После герметизации установки и ее вакуумирования до давления (1-5) мм рт. ст. диск испарителей приводится во вращение с числом оборотов, обеспечивающим нанесение качественного покрытия. При прохождеНИИ электрического тока через испаряемое вещество последнее разогревается до температуры возгонки, после чего происходит процесс нанесения покрытия.

Предмет изобретения

1.Установка для вакуумного напыления покрытий на подложку, например из стекла, содержащая камеру, приспособление для

крепления подложки, диск с испарителями, контактное устройство, отличающаяся тем, что, с целью нанесения покрытий на подложку больщих размеров, диск с испарителями установлен с возможностью вращения от гидропривода с помощью кривого вала, помещенного в уплотнительную трубку.

2.Установка по п. 1, отличающаяся тем, что контактное устройство выполнено в виде ротора и корпуса со щеткодержателями.

3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью нанесения покрытий на обе стороны подложки, приспособление для крепления подложки выполнено в виде оправы, установленной с возможностью поворота.

J5

fuZ t

;-|76.

-Щщ-Т

11Т| I

111 и

37

Фиг 5