УСТРОЙСТВО для ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/56 

Изобретение может быть использовано при изготовлении радиодеталей.

Известно устройство для обработки деталей в вакууме, содержащее вакуумную камеру, транспортирующий диск с гнездами для укладки обрабатываемых деталей и шлюзовую камеру для загрузки и выгрузки деталей. Такое устройство имеет невысокую производительность вследствие того, что загрузка и выгрузка деталей производится в обычных условиях на участке транспортирующего диска, находящемся вне вакуумной камеры, а транспортирование в вакуумную камеру производится через щлюз.

В целях повышения нроизводительностн в предлагаемом устройстве шлюзовая камера выполнена в виде расположенной над верхней плоскостью транспортирующего диска обечайки « расположенного под диском днища. Верхняя и нижняя торцевые поверхности обечайки и верхняя торцевая поверхность днища закрыты эластичными диафрагмами и имеют кольцевые каналы для подвода сжатого воздуха.

На чертеже изображено предлагаемое устройство.

ена в вакуумную камеру и выполнена в виде обечайки 5, днища 6 и откидной крышки 7. Обечайка расположена над верхней плоскостью транспортирующего диска, а днише - под диском. Верхняя и нижняя торцевые поверхности обечайки и верхняя торцевая поверхность днища закрыты эластичными диафрагмами 8, 9 10 соответственно и имеют кольцевые каналы б, в и г для подачи

в них сжатого воздуха через трубопроводы И,

12 и 13. Крышка 7 прижимается защелкой 14.

Работает устройство следующим образом.

Крышку 7 шлюзовой камеры освобождают

от защелки и поднимают ее. В гнездо транспортирующего диска, расположенное в зоне шлюзовой камеры, загружают обрабатываемую деталь; опускают крышку и закрывают ее зашелкой. Через трубопровод // в канал б нагнетают сжатый воздух, в результате чего

диафрагма 8 перекрывает зазор между верхней торцевой поверхностью обечайки 5 и крышкой 7. Из вакуумной и сообщающейся с ней шлюзовой камер откачивают воздух. Транспортирующий диск приводят в движенне, последний доставляет деталь в рабочую зону к устройству, выполняющему определенную технологическую операцию. Обработанная деталь транспортируется диском в зону Н1ЛЮЗОВОЙ камеры.

сжатый воздух нагнетают в каналы виг. Диафрагмы 9 и 10 перекрывают зазоры между нижней торцевой поверхностью обечайки и верхней поверхностью транспортирующего диска и верхней торцевой поверхностью днища 6 и нижней поверхностью диска, в результате чего достигается герметичное отделение шлюзовой камеры от объема вакуумной камеры. Затем сжатый воздух выпускают из канала б, диафрагма 8 сжимается, образуя зазор между верхней торцевой поверхностью обечайки и внутренней поверхностью крыщки 7, через который шлюзовая камера соединяется с атмосферой. Освобождают крышку от защелки 14, выгружают обработанную деталь и загружают очередную необработанную. Далее цикл повторяется.

Предмет изобретения

Устройство для обработки деталей в вакууме, содержащее вакуумную камеру, транссортирующий диск с гнездами для укладки обрабатываемых деталей и шлюзовую камеру для загрузки и выгрузки деталей, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройства, шлюзовая камера выполнена в виде расположенной над верхней плоскостью транспортирующего диска обечайки и расположенного под диском днища, причем верхняя и нижняя торцевые поверхности обечайки и верхняя торцевая поверхность днища закрыты эластичными диафрагмами и имеют кольцевые каналы для подвода сжатого воздуха.

/4