СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ Советский патент 1972 года по МПК C03C27/04 

Изобретение относится к вакуумным микроприборам и интегральным схемам.

Известен способ соединения стекла с металлом путем спаивания с предварительным остекловыванием металла.

Цель изобретения-повысить адгезию стекла к металлу, а также надежность и долговечность спая.

Достигается это тем, что на поверхность металла сначала наносят пленку титана, затем- пленку окиси кремния, после чего-слой стекла и осуществляют оплавление его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.

В качестве атмосферы может быть применен водород или аргон.

Ианесение слоев титана и SiO производят

путем последовательного напыления в вакууме. Наносят стекло методом осаждения сублимационных частиц стекла в центрифуге.

Иредмет изобретения

Способ соединения стекла с металлом путем спаивания с предварительным остекловыванием металла, отличающийся тем, что, с целью

повышения адгезии стекла к eтaллy, а также надежности и долговечности спая, на поверхность металла сначала наносят пленку титана, затем-пленку окиси кремния, после чего-слой стекла и осуществляют оплавление его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.