Многопозиционный карусельный полуавтомат для нанесения покрытий испарением в вакууме Советский патент 1961 года по МПК C23C14/54 

Многопозиционные карусельные полуавтоматы ДоТЯ нанесения покрытий испарением в вакууме, состоящие из неподвижной части и вращающейся карусели, имеющей вакуумные камеры и испарительные устройства, известны двух видов; золотниковые и беззолотниковые. Первый тип автоматов малопроизводителен, второй - отличается сложной и крупногабаритной конструкцией.

В предложенном карусельном полуавтомате по-сравнению с известными обеспечивается высокая производительность процесса, повышенное качество покрытий, а также улучшение условий труда.

Это достигается тем, что вакуумная система полуавтомата снабжена вакуумным коллектором, подвижная часть которого выполнена в виде обоймы, разделенной кольцами на несколько герметично изолированных полостей, и системой вакуумных кранов, расположенных в каждой камере.

С целью осуществления одновременного или поочередного испарения одного или нескольких материалов, в каждой вакуумной камере установлено несколько испарителей.

Для повышения качества покрытий каждый испаритель снабжен индивидуальным подвижным экраном, защищающим испаритель и поверхность изделия от залета другого материала во время очистки испаряемого материала и испарителя.

В целях повышения адгезии, применена очистка поверхности изделий в поле тлеющего разряда.

С целью устранения миграции (проникновения) паров масла из диффузионных насосов в рабочие объемы, применены высоковакуумные ловушки на полупроводниках.

№ 139176-2 -

Для обеспечения гигиенических условий работы подача и слив охлаждающей воды на вращающуюся часть полуавтомата осуществляется посредством водяного коллектора на уплотнительных кольцах.

На чертеже изображена схема предлагаемого автомата. Для закрепления и вращения детали, на которую наносится покрытие, в крыщке / камеры имеется устройство 2. Внутри камеры смонтированы испарители 3, подвижные экраны 4 и электроды 5, служащие для очистки поверхности изделия в поле тлеющего разряда. Камера снабжена диффузионным насосом 6 с высоковакуумным затвором 7, двумя форвакуумными кранами 8 и 8а, клапаном 9 для выпуска воздуха. Низковольтные 10 и высоковольтные 11 электрические контакты соединены с испарителями 3 и электродами 5. Между диффузионным насосом 6 и высоковакуумным затвором 7 помещена высоковакуумная ловушка 12 на полупроводниковых термоэлементах, служащая для устранения миграции паров масла из диффузионного насоса в рабочий объем.

После установки и закрепления изделия и испарителей с навесками испаряемого материала, включается механизм подъема или опускания крыщки. Клапан 9 закрывает и открывает форвакуумный кран 8, в результате ч€го рабочая камера соединяется с полостью вакуумного коллектора и производится первая вакуумная откачка.

По достижении необходимого разряжения на электроды 5 подают высокое напряжение для создания тлеющего разряда с целью очистки поверхности изделия.

При второй вакуумной откачке закрывается кран 8, открывается кран 8а. Затем на электроды 5 подается высокое напряжение. Закрывается кран 8а, прекращается форвакуумная откачка и поворачивается экран 4. Открывается затвор 7 и начинается высоковакуумная откачка; происходит очистка испарителей, оплавление и обезгаживание распыляемого материала под действием низкого напряжения. Затем экран 4 возвращается в исходное положение.

При продолжении высоковакуумной откачки, рабочее напряжение подается на испарители 3 и при вращении изделия происходит распыление алюминия на его поверхность и нанесение защитного материала. По окончании процесса распыления затвор 12 закрывается. Затем открывается клапан для впуска воздуха. После см-ены изделия, прощедщего обработку, камеры загружаются очередной деталью и процесс работы повторяется.

Предмет изобретения

1.Многолозиционный карусельный полуавтомат для нанесення покрытий испарением в вакууме, состоящий из неподвижной части и вращающейся карусели, с расположенными на ней вакуумными камерами, с испарительными устройствами, отличающийся тем, что, с целью повыщения производительности и упрощения конструкции, его вакуумная система снабжена вакуумным коллектором, подвижная часть которого выполнена в виде обоймы, разделенной при помощи уплотнительпых колец на несколько герметично изолированных полостей, и системой вакуумных кранов, расположенных на каждой камере, что дает возможность повысить проводимость вакуумных коммуникаций, осуществить многоступенчатую откачку и установить насосы предварительного разряжения за пределами вращающейся части полуавтомата, оставив высоковакуумные насосы непосредственно у вакуумных камер.

2.Полуавтомат по п. 1, отличающийся тем, что, с целью осуществления одновременного или поочередного испарения одного или не